多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第148页
6. 生产 I NS-NXTMWU-4.2S 134 多功能晶圆单元使用说明书 6.4 补充晶圆 运转中当发生料尽时， 元件补充向导就会被显示在多功能晶圆单元的画 面上。 请根据向导， 将元件补充到多功能晶圆单元中 。 6.4.1 元件补充向导画面 01NST -0644S
INS-NXTMWU-4.2S 6. 生产
多功能晶圆单元使用说明书 133
6.3 关于生产中的画面
此处，说明生产中 （裸晶片供应中）所显示的画面和画面操作。
6.3.1 画面的构成
01NST-0656S
MWU
MWU
6. 生产
I
NS-NXTMWU-4.2S
134 多功能晶圆单元使用说明书
6.4 补充晶圆
运转中当发生料尽时，元件补充向导就会被显示在多功能晶圆单元的画面上。请根据向导，
将元件补充到多功能晶圆单元中。
6.4.1 元件补充向导画面
01NST-0644S
INS-NXTMWU-4.2S 6. 生产
多功能晶圆单元使用说明书 135
6.4.2 补充步骤
1. 请打开多功能晶圆单元的正面门。
2. 请确认要补充的料槽。需要补充的料槽的 LED 会亮灯。另外，对于向导画面中所选择的
料槽，LED 会闪烁。
3. 请拿住捏手，抬起托架挡块。
01INST-0646S
01NST-0648S