多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第99页
INS-NXTMWU-4.2S 5. Job 的设定和编辑 多功能晶圆单元使用说明书 85 · 数据文件名 每种顶起销的配置类型都标注了 数据文件名。 · 顶起销配置和顶起销个数追加时的注意事 项 a. 在顶起销的配置中想要设置中心销的时候 · 在筒夹中安装顶 起销时 ， 如果存在中心销则有可能无法正确 地固定其他的顶起 销。这时，如图所示，请使用 4 个或者 2 个支撑销来支撑中心。 C= ᔶ ޔ S= ℷᮍᔶ ޔ R= 䭓ᮍᔶ ㄦ…
5. Job 的设定和编辑 INS-NXTMWU-4.2S
84 多功能晶圆单元使用说明书
关于顶起销
此处，说明顶起销的配置类型、顶起量和数据文件名。
· 顶起销的配置类型
· 顶起筒和顶起量对应表
01NST-1481S
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C12D1
C23S0D4P082082
C23D1 C23S0A4P014014
C23S0B4P034034
C23S0C4P057057
Ǿ12
C12D9
0.05 mm
0.20 mm 0.20 mm 0.20 mm
0.15 mm
㧦
乊䍋䫔
0.15 mm
0.022 mm
Ǿ12
Ǿ23
Ǿ23 Ǿ23 Ǿ23
Ǿ23
乊䍋䫔䜡㕂
ㄦⱘሎᇌ
乊䍋䫔䜡㕂
01NST-1489S
XY (mm)
0.24 0.40 1.00 2.00 3.00 4.00 5.00 6.00 7.00 8.00 9.00 10.00 11.00 12.00
C12D1
0.40
C12D9
0.50 0.50 0.50
0.60
1.00 1.00
0.90 0.90 0.90
0.70 0.70 0.70 0.70 0.70
0.90 0.90 0.90 0.90
1.00 1.00 1.00 1.00 1.00 1.00
1.00 1.00
0.60 0.60 0.60 0.60 0.60 0.60
C23D1
C23S0A4P014014
C23S0B4P034034
C23S0C4P057057
C23S0D4P082082
INS-NXTMWU-4.2S 5. Job 的设定和编辑
多功能晶圆单元使用说明书 85
· 数据文件名
每种顶起销的配置类型都标注了数据文件名。
· 顶起销配置和顶起销个数追加时的注意事项
a. 在顶起销的配置中想要设置中心销的时候
·在筒夹中安装顶起销时，如果存在中心销则有可能无法正确地固定其他的顶起
销。这时，如图所示，请使用 4 个或者 2 个支撑销来支撑中心。
C=
ᔶ
ޔS=
ℷᮍᔶ
ޔR=
䭓ᮍᔶ
ㄦᔶ⢊
ㄦⱘⳈᕘ
Ǿ12, Ǿ23
乊䍋䫔䜡㕂ᔶ⢊
S=
ℷᮍᔶ
ޔR=
䭓ᮍᔶ
ޔD=
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Ёᖗ䫔ⱘ᳝᮴
0=
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ޔ1=
᳝
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(0.022 mm)
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A, B, C, D 㧔
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㧕1.4 mm = 014, 3.46 mm = 034
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a
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C 23 S 0 B 4 P034034
01NST-1482S
