多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第269页
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养 多功能晶圆单元使用说明书 255 10.4 每周 （160 小时）的作业 10.4.1 清扫供料器料槽和接插件 1. 请打开模组的侧面盖罩门。 2. 使用吸尘器吸取积存在料槽部和供料器接 插件部的垃圾和灰尘。必要时，请 使用刷子仔 细地清扫。 3. 请关闭模组的侧面盖罩门。 01NST -0697a
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
254 多功能晶圆单元使用说明书
3. 请除去积存在元件排出箱内的元件。
注意 )将元件排出箱完全插入台座中。如果元件排出箱没有完全插入台座中，运转时有可能
与工作头发生冲突。
晶片往复臂用元件排出箱
1. 打开正面门。
2. 打开右侧面的维修保养门。
3. 向上拉出元件排出箱。
4. 请除去积存在元件排出箱内的元件。
注意 )将元件排出箱完全插入台座中。如果元件排出箱没有完全插入台座中，运转时有可能
与工作头发生冲突。
01NST-1322a
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 255
10.4 每周 （160 小时）的作业
10.4.1 清扫供料器料槽和接插件
1. 请打开模组的侧面盖罩门。
2. 使用吸尘器吸取积存在料槽部和供料器接插件部的垃圾和灰尘。必要时，请使用刷子仔
细地清扫。
3. 请关闭模组的侧面盖罩门。
01NST-0697a
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
256 多功能晶圆单元使用说明书
10.5 每 2 周 （320 小时）的作业
10.5.1 清扫防静电装置
1. 请将主电源开关设置为 OFF。
2. 拆下螺丝，卸下左侧面的维修保养盖罩。
3. 将六角扳手插入放电针单元的底面，转动放电针单元将其拆下。
4. 用浸有酒精的棉棒等，擦去放电针单元的放电针及其周围的污垢。
5. 将六角扳手插入放电针单元的底面，与拆下放电针单元时相反方向转动扳手，安装放电
针单元。
备注 )以 0.3Nm 以下的旋紧力矩安装放电针单元。
6. 安装左侧面的维修保养盖罩。
01NST-1321Sb
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