多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第179页

INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线多功能晶圆单元使用说明书 165 7.4 指定吸取开始点（晶圆托架）在多功能晶圆单元中安装了晶圆托架后，请指定吸嘴最初要吸取的晶片。备注 )料盘元件补充时的指定吸取开始点是在料盘元件的补充中进行。详细内容请参照 "7.11 元件补充（料盘元件的安装）"。 7.4.1 如何显示吸取开始点指定画面请执行在晶圆托架的安装向导中所显示的吸取开始点指定的指令，或者通…

7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S

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4. 安装了晶圆压板后，使用旋钮进行固定。此时，平均紧固 8 处。对角上的旋钮为一组，

按照图的顺序进行紧固。

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INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线

多功能晶圆单元使用说明书 165

7.4 指定吸取开始点（晶圆托架）

在多功能晶圆单元中安装了晶圆托架后，请指定吸嘴最初要吸取的晶片。

备注 )料盘元件补充时的指定吸取开始点是在料盘元件的补充中进行。详细内容请参照"7.11

元件补充（料盘元件的安装）"。

7.4.1 如何显示吸取开始点指定画面

请执行在晶圆托架的安装向导中所显示的吸取开始点指定的指令，或者通过以下的操作来

显示吸取开始点指定画面。

1. 在操作面板处在开始等待的状态的时候，请按下 OK 按钮。

2. 显示换线指令菜单。请选择吸取开始点指定指令。

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7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S

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3. 请按下 START 按钮。

备注 )在按下 START 按钮之前，按下箭头按钮（上下）能够选择料槽。

4. 显示吸取开始点指定画面。

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