多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第46页
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S 32 多功能晶圆单元使用说明书 9. 将对应多功能晶圆单元的吸嘴置放台安装 在吸嘴更换器本体上。 （关于安装方法的详细 内容请参照 [NXT II 机 械手册 ]。 ） 10.拆下废料带箱下面 的盖罩。 11.松开螺栓，拆下模组前侧下方的盖罩。 12.进行多功能晶圆单元的高度和倾 斜的调整时，请在以下的作业之前进行。详细内容请参 照 "4.4 调整多功能晶圆单元的高度和倾斜 &quo…
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 31
4. 安装多功能晶圆单元用的废料带输送槽。
5. 拆下元件排出箱。
6. 将元件相机的安装位置变更到模组内右侧。（安装 / 卸下作业的详细步骤请按照 [NXT
II机械手册]的[部品的更换]。）
7. 使用六角扳手拆下双头螺栓 （4 个）。拔下接插件，拆下吸嘴更换器。
8. 将吸嘴更换器安装在多功能晶圆单元用的位置。旋紧双头螺栓 （4 个）。接插件穿过吸
嘴更换器旁边的孔进行连接。
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
32 多功能晶圆单元使用说明书
9. 将对应多功能晶圆单元的吸嘴置放台安装在吸嘴更换器本体上。（关于安装方法的详细
内容请参照 [NXT II 机械手册 ]。）
10.拆下废料带箱下面的盖罩。
11.松开螺栓，拆下模组前侧下方的盖罩。
12.进行多功能晶圆单元的高度和倾斜的调整时，请在以下的作业之前进行。详细内容请参
照 "4.4 调整多功能晶圆单元的高度和倾斜 "。
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 33
13.安装多功能晶圆单元用的废料带滑槽。
14.将多功能晶圆单元用的废料带箱座放入基座内，安装废料带箱。
备注 )废料带箱部安装了传感器。如果废料带箱座没有完全安装在基座内，废料带处理单元
就不会动作。
15.安装模组前侧下方的盖罩。