多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第291页
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养 多功能晶圆单元使用说明书 277 〈塔部〉 备注 )FUJI 润滑油枪套件的润滑油枪 1 次喷射的吐出量约 0.6cc。请作为加油量的参考。表 中的加油量是 1 根滚珠丝杆的加油量。 1. 请打开正面门。 2. 用干净的布擦去 TZ 轴滚珠丝杆的污垢。 3. 将 0.5cc 的 Daphne Eponex No.2 倒在刷 子上。 4. 通过料盘箱下面的间隙，用刷子在 TZ 轴滚珠丝杆上…
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
276 多功能晶圆单元使用说明书
〈翻转单元〉
备注 )FUJI 润滑油枪套件的润滑油枪 1 次喷射的吐出量约 0.6cc。请作为加油量的参考。表
中的加油量是 1 根滚珠丝杆的加油量。
1. 请打开背面盖罩右侧面的维修保养门。
备注 )如果是没有背面右侧面维修保养门的多功能晶圆单元，请从模组上卸下多功能晶圆单
元，拆下背面盖罩。（详细内容请参照 "9.1 卸下方法 " 和 "12.1 拆下盖罩 "。
2. 用干净的布擦去翻转部齿轮的污垢。
3. 将 0.35cc 的 Mobilith SHC460WT 倒在刷子上。
4. 使用刷子，在翻转部齿轮处均匀地涂敷润滑油。
5. 用干净的布擦去溢出的多余的润滑油。
6. 将多功能晶圆单元返回到原来的状态。
润滑油 加油处 加油量
(cc)
Mobilith SHC460WT （Mobil） 翻转部齿轮 0.35
01NST-2015
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 277
〈塔部〉
备注 )FUJI 润滑油枪套件的润滑油枪 1 次喷射的吐出量约 0.6cc。请作为加油量的参考。表
中的加油量是 1 根滚珠丝杆的加油量。
1. 请打开正面门。
2. 用干净的布擦去 TZ 轴滚珠丝杆的污垢。
3. 将 0.5cc 的 Daphne Eponex No.2 倒在刷子上。
4. 通过料盘箱下面的间隙，用刷子在 TZ 轴滚珠丝杆上均匀地涂敷润滑油。
5. 用干净的布擦去溢出的多余的润滑油。
6. 关闭正面门。
润滑油 加油处 加油量
(cc)
Daphne Eponex No.2 ( 出光 ) TZ 轴滚珠丝杆 0.5
01NST-0707a
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
278 多功能晶圆单元使用说明书
10.10.2 皮带张力的点检和调整
确认皮带张力时，请预先准备张力计。拆下多功能晶圆单元。（参照 "9.1 卸下方法 "。）
〈PP 单元〉
1. 请打开背面盖罩左侧面的维修保养门。
2. 请拆下滑轮盖罩。
3. 请测定皮带张力。确认跨度最长的皮带的中央位置的测定值时是否在规定值内。
4. 如果测定值超出规定值，请调整皮带张力。松开张力滑轮的固定螺栓，然后转动调整螺
栓进行调整。
5. 请旋紧张力滑轮的固定螺栓和锁定螺母。
6. 再次测定测定皮带张力，确认是否在规定值内。
7. 安装滑轮盖罩，关闭左侧面门。
皮带张力 规定值 (Hz)
PX 轴 244 ～ 270