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INS-NXTMWU-4.2S 5. Job 的设定和编辑 多功能晶圆单元使用说明书 99 5.6.2 吸取测试 对于没有生产实绩的晶片,如果 不调整以下的设定,有可能无法吸 取。 ·顶起销的顶起高度 ·顶起速度 ·晶片吸取时的下降端时间 因此,请进行吸取测试,确认实 际的吸取状态。 启动测试模式 1. 请 启动 MEdit。 2. 打 开机器内的 Job 。 a. 从 文件菜单中选择 [Open Current J ob]。 b. 从…

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5. Job 的设定和编辑 INS-NXTMWU-4.2S
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保存编辑数据
1. 请按下结束按钮。编辑数据被反映给 MEdit。
备注 )机器在结束处理之前如果错误地按下了结束按钮,请再次启动 MEdit,重复操作。
2. 文件菜单中选择 [Save Job]。
备注 )在没有进行该操作的情况下执行其他的测试指令或者结束MEdit,就会显示以下的确认
信息。如果要保存 Job,请按下 [Yes]。
至此,完成影像处理测试。
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INS-NXTMWU-4.2S 5. Job 的设定和编辑
多功能晶圆单元使用说明书 99
5.6.2 吸取测试
对于没有生产实绩的晶片,如果不调整以下的设定,有可能无法吸取。
·顶起销的顶起高度
·顶起速度
·晶片吸取时的下降端时间
因此,请进行吸取测试,确认实际的吸取状态。
启动测试模式
1. 启动 MEdit。
2. 开机器内的 Job
a. 文件菜单中选择 [Open Current Job]。
b. 从生产线列表中选择对象模组。必要时也请选择通道。
c. 点击 [OK]。显示 Job 数据。
3. 请确认机器的操作面板显示了开始等待画面。
4. [MWU Test] 中,执行 [MWU Pickup Check]
备注 )如果显示错误向导,机器处在不能执行测试的状态。请显示错误内容,解决问题。
5. 显示多功能晶圆单元的操作向导。
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5. Job 的设定和编辑 INS-NXTMWU-4.2S
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6. 对象模组和多功能晶圆单元的操作换面切换到各自的测试模式。
执行影像处理测试
1. 请使用箭头按钮,选择进行影像处理的安装了晶圆的料槽。
2. 按下 OK 按钮。
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