多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第217页

INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线 多功能晶圆单元使用说明书 203 c. 筒夹中如果有不要的销时，请除去。松开 筒夹的螺母，销的固定孔就会松动 。 备注 )此处请使用专用的扳手。另外，请保管好所拆下的销，不要遗失。 d. 将顶起销插入相应的位置。 e. 请调整销的长度。 备注 )请转动调整螺丝，直到定位块碰到安装台为止。 f. 在该状态下，请重新轻轻地旋紧松动的螺 母，预固定顶起销。 注意 )用力旋紧螺母，有可能损伤销的前端。…