多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第206页
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S 192 多功能晶圆单元使用说明书 对模板图表设定进行初始化 1. 请从模板图表设定的菜单画面中选择初始 化指令。 2. 按下 OK 按钮后，模板图表设定就会被初始化，并且画面返 回到模板图表设定的菜单。 备注 )按下 CANCEL 按钮，则不会被初始化，并且画面返回到模板图表设定的菜单。 01NST -1047 01NST -1048 CANCEL OK
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 191
根据个别指定的模板图表设定
1. 点击图表影像后，就会显示图表影像。使用图表的放大按钮、滚动按钮，移动到想要指
定的晶片。
备注 )按下 CANCEL 按钮后，画面返回到晶圆示教画面。
2. 按下图表影像上的晶片后，就会作为跳过晶片被指定。被指定的晶片变成粉色。
备注 )每按一下影像上的晶片，就会在指定和解除之间切换。
备注 )想要移动显示中的影像时，请按下上下左右的滚动按钮。切换滚动量后，移动速度就
会以 2 个等级发生变化。
3. 完成所有的指定后，请按下 Complete 按钮。画面返回到模板图表设定的菜单。
注意 )之后，如果不按下菜单画面的 Complete 按钮，所设定的数值不会被反映。
CANCEL
Complete
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
192 多功能晶圆单元使用说明书
对模板图表设定进行初始化
1. 请从模板图表设定的菜单画面中选择初始化指令。
2. 按下 OK 按钮后，模板图表设定就会被初始化，并且画面返回到模板图表设定的菜单。
备注 )按下 CANCEL 按钮，则不会被初始化，并且画面返回到模板图表设定的菜单。
01NST-1047
01NST-1048
CANCEL
OK
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 193
7.7 卸下托架
在卸下被安装在多功能晶圆单元中的托架时所使用的指令。根据生产状况，在想要中止使用
晶圆时请执行该指令。
7.7.1 如何显示托架卸下画面
1. 请在操作面板处在开始等待的状态下请按下 OK 按钮。
2. 显示换线指令菜单。请选择托架卸下指令。
3. 之后，显示托架卸下画面。
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