多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第31页
INS-NXTMWU-4.2S 3. 传感器配置图 多功能晶圆单元使用说明书 17 3.4 PP 单元 输入信号 图中号码 地址 信号名 1 NX010 吸取工 作头 1 有元件确认 （交付前） NX026 吸取工 作头 1 有元件确认 （交付后） 2 NX011 吸取工 作头 2 有元件确认 （交付前） NX027 吸取工 作头 2 有元件确认 （交付后） 3 NX012 吸取工 作头 3 有元件确认 （交付前） NX028 吸取工 …
3. 传感器配置图
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NS-NXTMWU-4.2S
16 多功能晶圆单元使用说明书
输出信号
9 NY023 供应部托架夹紧开启
图中号码 地址 信号名
1 NY008 料尽显示字组 0bit
NY009 料尽显示字组 1bit
NY00A 料尽显示字组 2bit
NY00B 料尽显示字组 3bit
NY00C 料尽显示字组 4bit
NY00D 料尽显示锁定
NY00E 料尽显示 ON/OFF
NY00F 料尽显示闪烁
图中号码 地址 信号名
01NST-1517
1
INS-NXTMWU-4.2S 3. 传感器配置图
多功能晶圆单元使用说明书 17
3.4 PP 单元
输入信号
图中号码 地址 信号名
1 NX010 吸取工作头 1 有元件确认 （交付前）
NX026 吸取工作头 1 有元件确认 （交付后）
2 NX011 吸取工作头 2 有元件确认 （交付前）
NX027 吸取工作头 2 有元件确认 （交付后）
3 NX012 吸取工作头 3 有元件确认 （交付前）
NX028 吸取工作头 3 有元件确认 （交付后）
4 NX013 吸取工作头 4 有元件确认 （交付前）
NX029 吸取工作头 4 有元件确认 （交付后）
5 NX014 吸取工作头有吸嘴确认 （流量传感器）
6 NX031 吸取工作头 1 上升端
7 NX032 吸取工作头 1 下降端
8 NX033 吸取工作头 2 上升端
9 NX034 吸取工作头 2 下降端
10 NX035 吸取工作头 3 上升端
11 NX036 吸取工作头 3 下降端
12 NX037 吸取工作头 4 上升端
13 NX038 吸取工作头 4 下降端
01NST-0704b
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3. 传感器配置图
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NS-NXTMWU-4.2S
18 多功能晶圆单元使用说明书
输出信号
3.5 PP 吸嘴更换器
图中号码 地址 信号名
14 NY010 吸取工作头 1 元件吸取
15 NY011 吸取工作头 2 元件吸取
16 NY012 吸取工作头 3 元件吸取
17 NY013 吸取工作头 4 元件吸取
18 NY014 吸取工作头 1 元件真空破坏
19 NY015 吸取工作头 2 元件真空破坏
20 NY016 吸取工作头 3 元件真空破坏
21 NY017 吸取工作头 4 元件真空破坏
22 NY01C 吸取工作头 1 吸嘴吸取
23 NY01D 吸取工作头 2 吸嘴吸取
24 NY01E 吸取工作头 3 吸嘴吸取
25 NY01F 吸取工作头 4 吸嘴吸取
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