多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第184页
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S 170 多功能晶圆单元使用说明书 7.5.2 指定跳过晶片 请选择外圈指定、范围指定或者 个别指定的任意一个菜单，进入指 定画面。 根据外圈指定的跳过晶片的设定 1. 按下画面左下方的按钮就会显示数字键盘 。在数字键盘上输入从晶圆外圈开 始的列数。 2. 输入列数后，按下数字键盘的 Enter 键，所输 入的数值就会被决定。 3. 请按下 Complete 按钮。画面返回到跳过晶片指定的菜单。…
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 169
备注 )在按下 OK 按钮之前，按下箭头按钮 （上下）能够选择料槽。
4. 显示跳过晶片指定的菜单画面。请按下菜单选择设定方法。
a. 外圈指定：输入从外圈开始的列数，指定跳过晶片的区域。
b. 范围指定：从影像图表或影像中选择范围，指定跳过晶片。
c. 个别指定：从影像图表或影像中选择晶片，指定跳过晶片。
CompleteCANCEL
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
170 多功能晶圆单元使用说明书
7.5.2 指定跳过晶片
请选择外圈指定、范围指定或者个别指定的任意一个菜单，进入指定画面。
根据外圈指定的跳过晶片的设定
1. 按下画面左下方的按钮就会显示数字键盘。在数字键盘上输入从晶圆外圈开始的列数。
2. 输入列数后，按下数字键盘的 Enter 键，所输入的数值就会被决定。
3. 请按下 Complete 按钮。画面返回到跳过晶片指定的菜单。
备注 )按下 CANCEL 按钮，就会取消所指定的数值，并且画面返回到跳过晶片设定的菜单。
4. 请按下 Complete 按钮。设定内容被反映给机器。
CANCEL
Complete
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多功能晶圆单元使用说明书 171
根据范围指定的跳过晶片的设定
1. 点击图表影像后，就会显示图表影像。使用图表的放大和滚动按钮，移动到想要指定的
区域。
备注 )按下 CANCEL 按钮后，画面就会返回到跳过晶片设定的菜单。
2. 在图标影像中请点击要指定的范围的对角上的晶片。
备注 )想要移动显示区域时，请按下上下左右的滚动按钮。切换滚动量后，移动速度就会以
2 个等级发生变化。
备注 )再次按下基点的晶片后，指定就会被解除。
备注 )在数字键盘上也能够输入指定范围的坐标。详细内容请参照下一页。
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CANCEL
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