多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第36页
3. 传感器配置图 I NS-NXTMWU-4.2S 22 多功能晶圆单元使用说明书 输出信号 3.8 元件排出搬运轨道 9 NX040 顶起 Y 轴机械手 汽缸 READY NX041 顶起 Y 轴机械手汽缸定位完成信号 1 NX042 顶起 Y 轴机械手汽缸定位完成信号 2 NX043 顶起 Y 轴机械手 汽缸 ALM 图中号码 地址 信号名 9 NY030 顶起 Y 轴机械手汽缸驱动指令 1 NY031 顶起 Y 轴机械手汽缸驱动…
INS-NXTMWU-4.2S 3. 传感器配置图
多功能晶圆单元使用说明书 21
3.7 顶起单元
输入信号
9 NY040 翻转 1 吸取
10 NY041 翻转 2 吸取
11 NY042 翻转 3 吸取
12 NY043 翻转 4 吸取
13 NY044 翻转 1 真空破坏
14 NY045 翻转 2 真空破坏
15 NY046 翻转 3 真空破坏
16 NY047 翻转 4 真空破坏
图中号码 地址 信号名
图中号码 地址 信号名
1 NX02F 顶起料带吸取确认 （直接搬运）
NX03F 顶起料带吸取确认 （往复臂搬运）
2 NX039 顶起销驱动汽缸后退端
3 NX03A 顶起销确认 BIT 1
4 NX03B 顶起销确认 BIT 2
5 NX03C 顶起销切换确认
6 NX03D 顶起销驱动汽缸前进端
7 NX04D 顶起 Y 轴机械手汽缸前进端
8 NX04E 顶起 Y 轴机械手汽缸后退端
01NST-0703b
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
3. 传感器配置图
I
NS-NXTMWU-4.2S
22 多功能晶圆单元使用说明书
输出信号
3.8 元件排出搬运轨道
9 NX040 顶起 Y 轴机械手汽缸 READY
NX041 顶起 Y 轴机械手汽缸定位完成信号 1
NX042 顶起 Y 轴机械手汽缸定位完成信号 2
NX043 顶起 Y 轴机械手汽缸 ALM
图中号码 地址 信号名
9 NY030 顶起 Y 轴机械手汽缸驱动指令 1
NY031 顶起 Y 轴机械手汽缸驱动指令 2
NY032 顶起 Y 轴机械手汽缸紧急停止输出
10 NY034 顶起销料带吸取
11 NY035 顶起销料带真空破坏
图中号码 地址 信号名
01NST-1518a
1
2
3
4
INS-NXTMWU-4.2S 3. 传感器配置图
多功能晶圆单元使用说明书 23
输入信号
输出信号
图中号码 地址 信号名
1 NX00D 不良元件排出许可确认 （中央）
2 NX00E 不良元件排出许可确认 （侧面）
3 NX00F 不良元件排出搬运轨道送出计数
图中号码 地址 信号名
4 NY000 不良元件排出搬运轨道送出指示