多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第224页
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S 210 多功能晶圆单元使用说明书 11.请拿住捏手，抬起 托架挡块。 12.请关闭正面门，按 下 SUPPLY C OPLT 按钮。 备注 )请轻轻地关闭正面门，以免多功能晶圆单元受到冲击。 13.请按下 SUPP LY COPLT 按钮 。 至此，完成料盘元件的补充。 01INST -0680S 01NST -0681
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 209
4. 从要补充元件的料槽中拔出料盘托架。如果没有料盘托架，则不需要该作业。
5. 将料盘安装到料盘托架上。
6. 将料盘托架安装到对象料槽中。
注意 )请轻轻地安装，以免料盘受到冲击。
备注 )想要改变安装料槽的顺序时，请通过触摸屏的箭头键 （上下）变更料槽。
7. 需要指定吸取开始点时，在此处进行设定。
8. 请按下画面上的 OK 按钮。
9. 如果有其他料槽的料盘安装向导，请重复 4. 项～ 8. 项。
10.当完成所有的补充后，SUPPLY COPLT 按钮就会闪烁。
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7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
210 多功能晶圆单元使用说明书
11.请拿住捏手，抬起托架挡块。
12.请关闭正面门，按下 SUPPLY COPLT 按钮。
备注 )请轻轻地关闭正面门，以免多功能晶圆单元受到冲击。
13.请按下 SUPPLY COPLT 按钮。
至此，完成料盘元件的补充。
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多功能晶圆单元使用说明书 211
7.11.3 指定吸取开始点
将料盘元件安装到多功能晶圆单元中的时候，通过在操作画面上设定最初吸取的元件的位
置坐标，能够指定料盘元件的吸取开始点。
1. 在补充向导画面被显示的状态下，请按下箭头键 （向右）。
2. 显示吸取点指定画面。请设定 X、Y 的吸取点。通过箭头键改变 X、Y 的数值。
· 设定栏的 X、Y 的初始值为现状的吸取点
3. 设定结束后，请按下 OK (NEXT) 按钮。
·如果副料槽 2 中安装着料盘时，显示副料槽 2 的吸取开始点指定画面。
·如果没有副料槽 2，或者副料槽 2 已经设定结束，则返回到料盘元件补充向导画
面。
备注 )按下 CANCEL 后，设定就会被取消。
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