多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第52页
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S 38 多功能晶圆单元使用说明书 8. 拆下多功能晶圆单元用废料带箱座和废料 带箱。 进行多功能晶圆单元的准备 1. 请拆下多功能晶圆单元的背面盖罩、正面 盖罩 （下方） 、侧面盖罩 （右侧下方、左侧下 方） 。 （详细内容请参照 "12.1 拆下盖罩 "。 ） 2. 将顶起单元移动到往复臂供应位置。 注意 )Y 方向移动顶起单元时， 首先将顶起 X 轴部移动到中央， 然后 …
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多功能晶圆单元使用说明书 37
4.4.3 调整方法
进行 NXT-2 机器的准备
1. 使用手动指令卸下贴装工作头。（详细内容请参照 [NXT II 系统手册]的[手动模式指
令]。）
2. 卸下贴装工作头，在插入模组之前请拆下作业侧的模组侧面盖罩。（详细内容请参照
[NXT II系统手册]的[部件的更换]。）
3. 插入模组，将基座的主电源开关设置为 OFF。
4. 使用与贴装工作头相同的方法，将工作头夹紧治具安装到模组的工作头支架上。另外，
不要进行接插件的连接。（详细内容请参照[NXT II系统手册]的[基本操作]。）
5. 打开模组的正面盖罩。
6. 松开螺栓，拆下模组前侧下方的盖罩。
7. 拆下多功能晶圆单元用废料带滑槽。
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多功能晶圆单元使用说明书 39
3. 在顶起单元的转位装置 1 号处安装顶起调整治具。
a. 如果在转位装置处安装了顶起筒，请向右转动控制杆拆下顶起筒。将转位压向弹簧
侧同时用手转动，拆下所有的顶起筒。
b. 用手转动转位装置，使得转位装置 1 号在上面。
备注 )转位号码请确认转位部的刻印和贴纸。
c. 在转位装置 1 号处安装顶起调整治具，向右转动控制杆。
备注 )不方便安装治具时，请转动 EZ 轴滚珠丝杆，下降顶起 Z 轴部。转动 EZ 轴滚珠丝杆时，
将 2mm 宽度的六角扳手插入滚珠丝杆的前端部，请慢慢地转动，不要用力过度。
4. 解除多功能晶圆单元下部前侧的锁定杆 （2 处）。左方向转动控制杆，解除锁定。
5. 松开多功能晶圆单元下部的前侧脚轮 （2 处）的固定螺母。使用 36mm 宽度扳手松开固
定螺母。
备注 )转动调整螺栓时，使用前端部厚度 14.5mm 的调整用扳手 （S3019F），转动锁定螺母
时，使用前端部厚度 9mm 的固定用扳手 （2MDLWJ0129**）。
6. 松开多功能晶圆单元下部中央的紧固环 （2 处）。松开 2 个固定螺栓。
01NST-1966
01NST-1967S
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