多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第72页
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S 58 多功能晶圆单元使用说明书 4.5.4 测定方法 进行测定的准备 1. 将 MWU 调 整工具安装到作业电 脑中。复制软件 [MWU Adjustment Tool] 的文件夹 ，粘贴 到电脑的任意位置。下一步，复制 机器附属的固有值备份数据内的 [InspectionTool. ini]，粘贴到 [MWU Adjustment Tool] 的文件夹 内。 备注 )虽然 [MWU Adju…
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多功能晶圆单元使用说明书 57
4.5.2 NXT-2 的 XY 机械手使用时的注意事项
作业中，存在使用 NXT-2 的 XY 机械手的作业。此时，请注意以下的事项。
4.5.3 测定前的确认事项
在进行吸取高度修正测定之前，请确认以下事项。
a. 多功能晶圆单元的高度和倾斜的调整已经完成。
b. NXT-2 和多功能晶圆单元的的盖罩已经全部被安装了。
c. 在作业电脑上安装了 NXT-2 软件工具 [Equipment Check] （详细内容请参照 [NXT II
系统手册 ] 的 [NXT-2 软件工具 ]。）
d. 请确认手头有固有值备份数据。使用备份数据内的 [InspectionTool.ini] 文件。该
数据附属于多功能晶圆单元。
警告
模组运转后，请不要马上直接接触模组的线性马达轴和线圈。有可能烫
伤。
模组的线性马达会发生强磁场。使用心脏起搏器的人员，请不要靠近的 Y
轴的线性马达附近 （请离开 400 mm 以上）。受磁场影响有可能造成心脏起
搏器误动作。
注意
手动移动 XY 机械手时，请握住框架部。请握住贴装工作头本体或手柄等，
不要对工作头施加力。
请不要压住 X 轴盖罩。盖罩有可能变形。
在模组的线性马达附近 （55 mm 以内）进行作业时，请不要使用通常的工
具。请使用非磁性工具。
请不要使磁卡、手表、精密仪器等靠近模组的线性马达附近 （55 mm 以
内）。有可能受磁场影响出现故障。
更换工作头和维修保养作业时，物品不要撞击线性标尺，使其损伤。如果
线性标尺损伤，就会发生错误，有可能不能生产。此时，需要更换线性标
尺。
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
58 多功能晶圆单元使用说明书
4.5.4 测定方法
进行测定的准备
1. 将 MWU 调整工具安装到作业电脑中。复制软件 [MWU Adjustment Tool] 的文件夹，粘贴
到电脑的任意位置。下一步，复制机器附属的固有值备份数据内的
[InspectionTool.ini]，粘贴到 [MWU Adjustment Tool] 的文件夹内。
备注 )虽然 [MWU Adjustment Tool] 的文件夹内存在 [InspectionTool.ini]，但是请覆盖保
存机器附属的 [InspectionTool.ini]。不要变更文件名。
2. 请打开 [MWU Adjustment Tool] 的文件夹内的 [MWU.exe]。MWU 调整工具启动。
3. 通过手动指令，卸下贴装工作头。（详细内容请参照 [NXT II 系统手册僗 ] 的 [ 手动模
式指令 ]。）
4. 将多功能晶圆单元安装到模组上。（详细内容请参照 "9.2 安装方法 "。）
5. 按下模组的紧急停止按钮，打开侧面盖罩。
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INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
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6. 在顶起单元的转位装置 1 号处安装顶起调整治具。
a. 如果在转位装置处安装了顶起筒，请向右转动控制杆拆下顶起筒。将转位压向弹簧
侧同时用手转动，拆下所有的顶起筒。
b. 用手转动转位装置，使得转位装置 1 号在上面。
备注 )转位号码请确认转位部的刻印和贴纸。
c. 在转位装置 1 号处安装顶起调整治具，向右转动控制杆。
备注 )不方便安装治具时，请转动 EZ 轴滚珠丝杆，下降顶起 Z 轴部。转动 EZ 轴滚珠丝杆时，
将 2mm 宽度的六角扳手插入滚珠丝杆的前端部，请慢慢地转动，不要用力过度。
7. 将顶起单元移动到往复臂供应位置。顶起 X 轴部的位置是顶起调整治具的中心与导轨面
的距离为 30mm 以上的位置。
注意 )Y 方向移动顶起单元时，首先将顶起 X 轴部移动到中央，然后 Y 方向移动顶起单元。在
顶起 X 轴部处在左右端的状态下，Y 方向移动顶起单元时，单元的一部分有可能碰到壁
面。
01NST-1966
01NST-1967S
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