多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第160页
6. 生产 I NS-NXTMWU-4.2S 146 多功能晶圆单元使用说明书 6.6.3 错误元件补救的设定 1. 请按下错误元件补救设定按钮，进行补救 设定。 2. 设定后，按下 NEXT 按钮。 备注 )补救设定后， 不按下 NEXT 按钮而是取消自动运转， 设定变成无效。 然后返回到自动运 转的时候，因为再次显示设定画面，请重新设定。 3. 显示吸取开始点的指定画面。在指定了开 始点后请重新开始生产。 备注 )关于吸取开始点的指…
INS-NXTMWU-4.2S 6. 生产
多功能晶圆单元使用说明书 145
2. 请安装晶圆托架，按下画面上的 OK 按钮。
3. 请放下托架挡块，轻轻地关闭正面门。
4. 按下 SUPPLY COPLT 按钮。
5. 显示错误元件补救画面。
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NS-NXTMWU-4.2S
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6.6.3 错误元件补救的设定
1. 请按下错误元件补救设定按钮，进行补救设定。
2. 设定后，按下 NEXT 按钮。
备注 )补救设定后，不按下 NEXT 按钮而是取消自动运转，设定变成无效。然后返回到自动运
转的时候，因为再次显示设定画面，请重新设定。
3. 显示吸取开始点的指定画面。在指定了开始点后请重新开始生产。
备注 )关于吸取开始点的指定，请参照 "6.5.3 指定吸取开始点 "。
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INS-NXTMWU-4.2S 6. 生产
多功能晶圆单元使用说明书 147
6.7 补充料盘元件
运转中当发生料尽时，在多功能晶圆单元的画面上就会显示元件补充向导。请根据向导对多
功能晶圆单元补充元件。
6.7.1 元件补充向导画面
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