多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第315页
INS-NXTMWU-4.2S 11. 更换损耗品 多功能晶圆单元使用说明书 301 11.4 更换控制电路板熔丝 11.4.1 必要工具 十字螺丝刀、六角扳手一套 11.4.2 更换方法 1. 请接通模组的电源，安装多功能晶圆单元 。 2. 拆下正面盖罩 （中央）详细内容请参照 "12.1 拆下盖罩 "。 3. 熔丝烧断后，电路板上的熔丝检查用 LED 就会熄灯。 请确认哪个熔丝被烧断，然后将主 开关设置为 OFF…
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300 多功能晶圆单元使用说明书
11.3.6 登录固有值
在更换了 CPU 箱后，进行固有值的重新登录。
1. 将固有值的备份数据复制到安装了附加软件的电脑上。
2. 将基座的主电源开关设置为 ON，将模组和多功能晶圆单元变成开始按钮等待的状态。
3. 启动辅助软件。
4. 选择对象模组，点击菜单的 [Calibration]。
5. 从固有值管理菜单中点击 [Proper data value file registration]。
6. 点击 [Browse] ，选择复制在电脑中的固有值的备份数据。
7. 点击 [OK]。显示 [File name]、[Serial No.]、[MWU type]，确认没有出错。
8. 点击 [Proper data value file registration]。将固有值数据发送到基座。
9. 重新启动多功能晶圆单元。固有值被反映。
01NST-2023E
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302 多功能晶圆单元使用说明书
4. 从控制电路板上拔出熔丝 （M11F1 ～ 9），更换新的熔丝。
❨ϱ(M11F1, 2, 7)
ൟো㧦DM32
ൟো㧦DM10
❨ϱ(M11F3, 4, 5, 6, 8, 9)
01NST-0723Sb
ࠊ⬉䏃ᵓ
F1⚻ᮁ㧦PL1❘♃
F2⚻ᮁ㧦PL2❘♃
F8⚻ᮁ㧦PL8❘♃
F9⚻ᮁ㧦PL9❘♃
F1
F2
F3
F4F5
F6
F7
F8
F9
PL1
PL2
PL3
PL4
PL5
PL6
PL7
PL8
PL9
❨ϱ(M11F5)
ൟো㧦DM10（⬉䏃ᵓൟোFH1408BOF）
DM16（⬉䏃ᵓൟোFH1408COF）
⬉䏃ᵓൟো