多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第233页
INS-NXTMWU-4.2S 8. 手动模式指令 多功能晶圆单元使用说明书 219 8.2.2 吸嘴更换 执行该指令后，被安装在 PP 工作头上的吸嘴就会返回到吸嘴置 放台内。从多功能晶圆单元 中卸下吸嘴置放台，就能够更换 吸嘴。 1. 请按下吸嘴更换指令。 2. 显示吸嘴更换 START 等待画面。请按下 STAR T 按钮。 3. 显示作业向导。请参照 "7.12.2 吸嘴的安装步骤 "，进行吸嘴更换。 备注 …
8. 手动模式指令 INS-NXTMWU-4.2S
218 多功能晶圆单元使用说明书
8.2 单元更换指令
在更换被安装在 PP 工作头上的吸嘴时使用。执行该指令后，就会显示吸嘴更换画面。
8.2.1 如何显示吸嘴更换画面
1. 在 START 等待状态下按下 MANUAL 按钮，显示手动指令。
2. 请按下单元更换图标。
3. 显示吸嘴更换菜单。
备注 )选择 CANCEL 图标后，就会返回到菜单画面。
01NST-1370
01NST-1371S
CANCEL
8. 手动模式指令 INS-NXTMWU-4.2S
220 多功能晶圆单元使用说明书
8.3 退避指令
因元件补充或清扫等原因，退避料盘箱的指令。执行该指令后，就会显示料盘箱退避画面。
8.3.1 如何显示料盘箱退避画面
1. 在 START 等待状态下按下 MANUAL 按钮，显示手动指令。
2. 请按下退避图标。
3. 显示料盘箱退避菜单。
备注 )选择 CANCEL 图标后，就会返回到菜单画面。
01NST-1375
01NST-1376S
CANCEL