多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第144页
6. 生产 I NS-NXTMWU-4.2S 130 多功能晶圆单元使用说明书 6.1.3 安装顶起销 请对照 Job，在筒夹上安装顶起销。根 据操作画面上所显示的顶起 销安装向导进行作业。详 细内容请参照 "7.10 安装顶 起销 "。 备注 )顶起销的安装向导被显示在模组侧的操作画面上。 6.1.4 确认顶起筒的安装 请确认在顶起单元上安装了筒。 同时确认在没有安装筒的料槽上安 装了盖罩。 1676…
INS-NXTMWU-4.2S 6. 生产
多功能晶圆单元使用说明书 129
6. 生产
当完成必要元件的安装后，通过按下 START 按钮，多功能晶圆单元开始生产。
6.1 生产之前
在开始生产之前，进行符合 Job 的换线，变成能够运用多功能晶圆单元的状态。
6.1.1 安装晶圆托架
请将生产中使用的晶圆托架安装到料盘箱内。根据操作画面上所显示的晶圆安装向导进行
作业。详细内容请参照 "7.3 元件补充 （晶圆的安装）"。
另外，伴随着晶圆托架的安装，有关指定等的操作，请参照以下的章节进行。
a. "7.4 指定吸取开始点 （晶圆托架）"
b. "7.5 指定跳过晶片 "
c. "7.6 晶圆示教 "
6.1.2 安装吸嘴
请对照 Job，在吸嘴置放台内安装吸嘴。根据操作画面上所显示的吸嘴安装向导进行作业。
详细内容请参照 "7.12 安装吸嘴 "。
备注 )吸嘴的安装向导被显示在模组侧的操作画面上。
INS-NXTMWU-4.2S 6. 生产
多功能晶圆单元使用说明书 131
6.1.5 确认在晶片往复臂上安装了吸嘴
请确认在晶片往复臂上安装了全部的 4 个吸嘴。
6.1.6 确认在翻转单元上安装了吸嘴
请确认在翻转单元上安装了全部的 4 个吸嘴。
注意
在没有安装吸嘴的状态下开始运转，气源回路内就会混入异物，成为多功
能晶圆单元发生故障的原因。
1676
ఈ
注意
在没有安装吸嘴的状态下开始运转，气源回路内就会混入异物，成为多功
能晶圆单元发生故障的原因。
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