多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第275页
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养 多功能晶圆单元使用说明书 261 10.6.6 更换顶起单元的真空过滤器 1. 请按下多功能晶圆单元的紧急停止按钮 ，打开模组的侧面盖罩门。 2. 用手将顶起单元移动到便于作业的位置 。 3. 使用一字螺丝刀，连同过滤器盒一起拆下 过滤器，更换成新品。 4. 关闭模组的侧面盖罩门。
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
260 多功能晶圆单元使用说明书
10.6.5 清扫 PP 相机的盖罩玻璃
1. 请打开背面盖罩左侧面的维修保养门。
2. 将清洁纸和棉插入盖罩与光源单元的间隙，擦去光源单元上面的盖罩玻璃的污垢。
3. 关闭背面盖罩左侧面的维修保养门。
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 261
10.6.6 更换顶起单元的真空过滤器
1. 请按下多功能晶圆单元的紧急停止按钮，打开模组的侧面盖罩门。
2. 用手将顶起单元移动到便于作业的位置。
3. 使用一字螺丝刀，连同过滤器盒一起拆下过滤器，更换成新品。
4. 关闭模组的侧面盖罩门。
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
262 多功能晶圆单元使用说明书
10.6.7 顶起单元的 EZ 轴滚珠丝杆的加油
备注 )FUJI 润滑油枪套件的润滑油枪 1 次喷射的吐出量约 0.6cc。请作为加油量的参考。表
中的加油量是 1 根滚珠丝杆的加油量。
1. 从模组中卸下多功能晶圆单元。（详细内容参照 "9.1 卸下方法 "。）
2. 用干净的布擦去 EZ 轴滚珠丝杆的污垢。
3. 将 0.35cc 的 Daphne Eponex No.2 倒在刷子上。
4. 用刷子将润滑油均匀地涂敷在 EZ 轴滚珠丝杆上。
5. 使用 2mm 宽度的六角扳手转动 EZ 轴滚珠丝杆，使 EZ 轴上下往复一次以上，循环润滑
油。
6. 用干净的布擦去溢出的多余的润滑油。
7. 将多功能晶圆单元安装到模组中。（详细内容请参照 "9.2 安装方法 "。）
润滑油 加油处 加油量
(cc)
Daphne Eponex No.2( 出光 ) EZ 轴滚珠丝杆 0.35