多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第100页
5. Job 的设定和编辑 INS-NXTMWU-4.2S 86 多功能晶圆单元使用说明书 b. 同列中设置了复数个顶起销时 （使用 8 个时） ·请在筒夹规格数据中创建专用 的数据文件名。 （数据文件名可以任意设定） ·请考虑以下所示的群组和象限 ，进行筒夹规格数据内的顶起销有 无设定。 c. 在 Collet Spe c Editor 中能够 进行筒夹规格数据的 编辑。 详细内容请 参照 "5.7 通过 Collet Sp…
INS-NXTMWU-4.2S 5. Job 的设定和编辑
多功能晶圆单元使用说明书 85
· 数据文件名
每种顶起销的配置类型都标注了数据文件名。
· 顶起销配置和顶起销个数追加时的注意事项
a. 在顶起销的配置中想要设置中心销的时候
·在筒夹中安装顶起销时，如果存在中心销则有可能无法正确地固定其他的顶起
销。这时，如图所示，请使用 4 个或者 2 个支撑销来支撑中心。
C=
ᔶ
ޔS=
ℷᮍᔶ
ޔR=
䭓ᮍᔶ
ㄦᔶ⢊
ㄦⱘⳈᕘ
Ǿ12, Ǿ23
乊䍋䫔䜡㕂ᔶ⢊
S=
ℷᮍᔶ
ޔR=
䭓ᮍᔶ
ޔD=
া᳝Ёᖗ䫔
Ёᖗ䫔ⱘ᳝᮴
0=
᮴
ޔ1=
᳝
ޔ9=
᳝⡍⅞㾘Ḑ䫔
(0.022 mm)
乊䍋䫔᭄ ਼ջ᠔䜡㕂ⱘ䫔᭄
乊䍋䫔䜡㕂ԡ㕂
ҢЁᖗᓔྟˈձЎ
A, B, C, D 㧔
Ёᖗ䫔䰸
㧕
䫔䯈䎱 ਼ջ᠔䜡㕂ⱘ䫔䯈䎱
X
䯈䎱
Yᡔᴃ㣗ೈ
՟
㧕1.4 mm = 014, 3.46 mm = 034
՟˅Ңԡᓔྟ䆄䗄㟇ᇣ᭄⚍ৢⱘԡ
a
b
c
d
f
e
g
abcdef g
C 23 S 0 B 4 P034034
01NST-1482S
INS-NXTMWU-4.2S 5. Job 的设定和编辑
多功能晶圆单元使用说明书 87
以下情况时
说明从晶圆上吸取晶片时的故障及其对策。
从晶圆上无法吸取晶片
1. 请目视确认晶圆和晶片的状态。
a. 要吸取的晶片破损了。
·请减小顶起量。约 0.1 mm 单位。
[Shape Process]-[Die]-[Push Up Height]
·请改变顶起销的配置，或者增加个数。（· 参照顶起销配置和顶起销个数追加时
的注意事项）
[Shape Process]-[Die]-[Collet Name]
[Machine Congiguration]-[feeder Setup]-[Collet Setup]
b. 相对于要吸取的晶片，顶起销的位置发生了偏移。
·请确认顶起销影像处理结果，如果误识别了，请清扫筒，然后再次校正。
2. 请目视顶起销的状态。
a. 顶起销破损了。
·请更换顶起销。
3. 目视不能确认问题时，请进行以下的确认。
a. 贴纸的粘着力大于吸嘴的吸取力，晶片没有从晶圆的贴纸上剥离。
·请增加顶起量。约 0.1 mm 单位。
[Shape Process]-[Die]-[Push Up Height]
·请降低顶起销加速度。（从 Standard/Low1/Low2/Low3/Low4 中选择）
[Shape Process]-[Die]-[1st Lift Speed]
[Shape Process]-[Die]-[Speed Cange Height]
能够按照 [Shape Process]-[Die]-[2nd Lift Speed]，设定 2 个等级的加速度。
·请增加顶起销上升定时。约 100 ms 单位。
[Shape Process]-[Die]-[Push Up Wait Time]
v (mm/sec)
1st Lift Speed
Standard
Low1
Low2
Low3
Low4
2nd Lift Speed
Standard
Low1
Low2
Low3
Low4
t (sec)Speed Change Height