多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第265页
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养 多功能晶圆单元使用说明书 251 10.2.2 维修保养人员进行的作业 维修保养项目 （●：清扫，★：加油，■： 点检，▲：更换） 每周 (160H) 每2周 (320H) 每月 (700H) 每3个 月 (2,000H) 每6个 月 (4,000H) 每年 (8,000H) 每 12,000 小时 不定期 作业时间 (分 ） 料站台 料槽、接插件 ● - - - ----1 P P 单…
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
250 多功能晶圆单元使用说明书
10.2 作业列表
表中的●标记表示清扫作业，★标记表示加油作业，■标记表示点检作业，▲标记表示更换
作业。
表中记载的作业时间因为是参考时间，所以，可能与实际的作业时间有所不同。
10.2.1 运转时操作人员进行的作业
*1：每 8 个小时
*2：每24个小时
维修保养项目
（●：清扫）
每天
（24H 以内）
每周
(160H)
每月
(700H)
每3个月
(2,000H)
每6个月
(4,000H)
每年
(8,000H)
不定期
作业时间
(分）
废料带箱内的清扫 ●
*1
------1
元件排出箱内的元件回收 ●
*2
------1
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 251
10.2.2 维修保养人员进行的作业
维修保养项目
（●：清扫，★：加油，■：点检，▲：更换）
每周
(160H)
每2周
(320H)
每月
(700H)
每3个月
(2,000H)
每6个月
(4,000H)
每年
(8,000H)
每12,000
小时
不定期
作业时间
(分）
料站台 料槽、接插件 ● - - - ----1
PP单元 真空过滤器 --▲-----5
吸嘴吸取面 --▲-----5
PP相机的盖罩玻璃 --●-----5
吸嘴夹紧销 ---▲----20
PP相机的半透半反光镜 -----●--5
PX轴滚珠丝杆 ------★-10
PX轴导轨 ------★-10
PZ轴滚珠丝杆 ------★-10
PX轴皮带张力 ------■-10
吸嘴 -------●
*3
1
托架往复臂 往复臂皮带 - - ●
★
-----5
10
TY轴导轨 ------★-10
托架夹头部导轨 ------★-10
TY轴皮带张力(往复臂部) ------■-10
TY轴皮带张力(驱动部) ------■-10
晶片往复臂吸嘴的真空过滤器 --▲-----5
SY轴导轨 ------★-10
SY轴皮带张力 ------■-10
吸嘴 -------●
*3
1
顶起单元 真空过滤器 --▲-----5
EZ轴滚珠丝杆 --★-----10
顶起筒的凸缘 ----▲---5
EX轴滚珠丝杆 ------★-10
驱动凸轮 ------★-10
EX轴导轨 ------★-10
EY轴导轨 ------★-10
EZ轴导轨 ------★-10
EX轴皮带张力 ------■-10
EZ轴皮带张力 ------■-10
翻转单元 吸嘴的真空过滤器 --▲-----5
翻转部齿轮 ------★-10
吸嘴 -------●
*3
1
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
252 多功能晶圆单元使用说明书
*3：每吸取 150,000 次，或者吸取异常时
*4：操作面板的显示灯 （绿色）熄灯，或者显示灯 （橙色）亮灯时时
*5：升降部的动作过重等异常时
塔部 TZ轴滚珠丝杆 ------★-10
TZ轴皮带张力 ------■-10
升降部 齿轮 -------★
*5
10
防静电装置放电针 - ● - - - ▲ - ●
*4
10
维修保养项目
（●：清扫，★：加油，■：点检，▲：更换）
每周
(160H)
每2周
(320H)
每月
(700H)
每3个月
(2,000H)
每6个月
(4,000H)
每年
(8,000H)
每12,000
小时
不定期
作业时间
(分）