多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第166页

7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S 152 多功能晶圆单元使用说明书 7.2 从菜单画面上选择换线项目 操作者也能够选择换线的项目来 显示向导画面。 这时， 请在 START 等待画面上 按下 OK 按钮， 切换到换线菜单画面。 选择 CANCEL 图标时， 则 返回到 STAR T 等待画面。 7.2.1 换线菜单画面 备注 )背景为深灰色表示不能够选择的菜单。 执行换线的时候，请按下菜单图 标。切换到各个换线画面。 16…

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INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 151
7. 换线
7.1 换线所需的项目
机器自我判断生产准备是否齐备。启动机器后，当按下 START 按钮时就会开始校正，根据需
要显示换线向导画面。
请根据向导进行换线作业。如果需要多个作业时，当完成 1 个作业后，画面就会切换到其他
的更换向导。
备注 )关于根据参考晶片指定向导的操作，请参照 "6.5 指定参考晶片 "。
01NST-0684S
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
152 多功能晶圆单元使用说明书
7.2 从菜单画面上选择换线项目
操作者也能够选择换线的项目来显示向导画面。
这时，请在 START 等待画面上按下 OK 按钮，切换到换线菜单画面。选择 CANCEL 图标时，则
返回到 START 等待画面。
7.2.1 换线菜单画面
备注 )背景为深灰色表示不能够选择的菜单。
执行换线的时候，请按下菜单图标。切换到各个换线画面。
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OK
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INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 153
7.3 元件补充 （晶圆的安装）
需要安装晶圆时，在校正后显示晶圆的安装向导。请根据向导，向多功能晶圆单元补充晶
圆。
7.3.1 晶圆安装向导画面
01NST-0644S