多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第320页
11. 更换损耗品 INS-NXTMWU-4.2S 306 多功能晶圆单元使用说明书 11.7 更换真空泵损耗部件 11.7.1 更换周期 机器每运转 6,000 小时 11.7.2 准备物品 部件名称 数量 更换部件 空气过滤器 2 汽缸密封垫片 2 吸排气阀 4 垫圈 2 名称 备注 工具 六角扳 手 对边 5mm 十字螺丝刀 No.2 其他 工业用酒精 擦拭清扫用 回丝 擦拭清扫用 乐泰 242 螺丝固定用 防尘口罩 - 手套 -
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多功能晶圆单元使用说明书 305
4. 从远程控制 I/O 电路板上拔出熔丝 （F1、F3），更换新的熔丝。
注意
在更换熔丝之前，请务必切断电源。请安装与拆下的熔丝相同容量的熔
丝。
11. 更换损耗品 INS-NXTMWU-4.2S
306 多功能晶圆单元使用说明书
11.7 更换真空泵损耗部件
11.7.1 更换周期
机器每运转 6,000 小时
11.7.2 准备物品
部件名称 数量
更换部件 空气过滤器 2
汽缸密封垫片 2
吸排气阀 4
垫圈 2
名称 备注
工具 六角扳手 对边 5mm
十字螺丝刀 No.2
其他 工业用酒精 擦拭清扫用
回丝 擦拭清扫用
乐泰 242 螺丝固定用
防尘口罩 -
手套 -
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多功能晶圆单元使用说明书 307
11.7.3 更换方法
真空泵中有 2 个汽缸盖。以下说明其中一个的作业。另一个请按照同样的方法进行作业。
1. 将主电源开关设置为 OFF。
2. 请等到真空泵的表面温度下降至室温。
3. 请拆下螺丝，拆下正面盖罩 （下方）。详细内容请参照 "12.1 拆下盖罩 "。
4. 请戴好防尘口罩和手套。
5. 拔下连接在真空泵上的空气管。
警告
在进行真空泵拆卸作业前，请务必切断机器主电源。
警告
请在泵停止后放置 30 分钟以上，确认泵冷却后进行作业。刚停止运转
后，泵内部温度很高会造成烫伤。
警告
在进行以下作业时，请戴好防尘口罩和手套。细微的尘埃在空气中浮游与
空气一起进入体内。
01NST-1502a