多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第131页
INS-NXTMWU-4.2S 5. Job 的设定和编辑 多功能晶圆单元使用说明书 117 3. 显示删除的确认对话框。请点击 OK。 4. 操作后，请点击 Save 按钮，保存编辑数据。 01NST -1720
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4. 操作后，请点击 Save 按钮，保存编辑数据。
5.7.4 导入筒夹数据
1. 请单击 Import。
2. 从所显示的对话框的列表中，选择进行导入的数据。导入的数据被追加到筒夹数据列表
内。
3. 操作后，请点击 Save 按钮，保存编辑数据。
5.7.5 删除筒夹数据
1. 从筒夹数据列表中选择要删除的数据。
2. 点击 Delete。
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3. 显示删除的确认对话框。请点击 OK。
4. 操作后，请点击 Save 按钮，保存编辑数据。
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5.8 运用邻近参考晶片参照功能
生产时，不进行被设定为不良晶片或跳过晶片的位置的影像处理。因此，如果不良晶片或
跳过晶片为连续时，就会不进行必要的位置补正而直接进行吸取动作，有可能误吸取相邻
列的晶片。
这种情况时，读取读取相邻的参考晶片，能够进行吸取位置的补正。
通常，不良晶片为连续的时候，按照在 Process Times 中所设定的间隔读取影像，能够进
行位置补正 （参照 "5.3.2 补充信息 "）。但是，因为不良晶片被全部涂黑了，所以，是一
项发生影像处理错误时有效的功能。
另外，利用邻近参考晶片参照功能时，需哟以下的条件。
a. Fuji Flexa：V5.8.0 或更高版本
b. 晶圆图表工具：V1.40 或更高版本
c. 在晶圆图表上必须在一定间隔被配置了复数的参考晶片
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