多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第197页
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线 多功能晶圆单元使用说明书 183 有效晶片范围的调整 从图表编辑菜单画面上选择有效 晶片范围的调整菜单后，就会显示 调整画面。 备注 )按下 CANCEL 按钮、Complete 按钮后，就会返回到图表编辑菜单画面。 1. 请数次按下加号按钮或减号按钮，变更有 效晶片的范围。当绿色的表示器变 成最大的时 候，有效晶片变化了一个范围。 2. 完成有效晶片的范围调整后，请按下 Com plete …
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
182 多功能晶圆单元使用说明书
行列数的设定
从图表编辑菜单画面上选择行列数的设定菜单后，就会显示行列数设定画面。
备注 )按下 CANCEL 按钮、Complete 按钮后，就会返回到图表编辑菜单画面。
1. 选择行数或列数后，就会显示数字键盘。
备注 )0 的时候，自动决定行列数。
2. 在数字键盘上输入从晶圆外圈到扁平面的列数。按下 Enter 按钮后，所输入的数值就会
被确定。
3. 完成行数、列数的设定后，请按下 Complete 按钮。移动到图表编辑菜单画面。
CANCEL
Complete
01NST-1065
01NST-1354
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 183
有效晶片范围的调整
从图表编辑菜单画面上选择有效晶片范围的调整菜单后，就会显示调整画面。
备注 )按下 CANCEL 按钮、Complete 按钮后，就会返回到图表编辑菜单画面。
1. 请数次按下加号按钮或减号按钮，变更有效晶片的范围。当绿色的表示器变成最大的时
候，有效晶片变化了一个范围。
2. 完成有效晶片的范围调整后，请按下 Complete 按钮。移动到图表编辑菜单画面。
01NST-1355
CANCEL Complete
01NST-1356S
+
-
: :
01NST-1725
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
184 多功能晶圆单元使用说明书
轴移动位置处的指定
从图表编辑菜单画面上选择轴移动位置处的指定菜单后，就会显示指定画面。
此处，使相机移动到图表影像中指定的位置，确认图表影像和实际影像。下一步，指定晶片
的有效、无效。
备注 )按下 CANCEL 按钮、Complete 按钮后，就会返回到图表编辑菜单画面。
1. 点击图表影像的显示区域后，就会显示图表影像。使用放大、滚动按钮移动图表，点击
想要确认的晶片。
备注 )由此，移动目标处的晶片位置被指定。
2. 指定了晶片位置后，NEXT 按钮就会闪烁，请按下按钮。
01NST-1357
CANCEL NEXT Complete
01NST-1358S
Next