多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第334页
12. 更换部件 INS-NXTMWU-4.2S 320 多功能晶圆单元使用说明书 1. 从模组上卸下多功能晶圆单元。 2. 拆下螺丝，拆下 CPU 箱的盖罩。 3. 请将防静电腕带戴在手腕处。腕带的连接口 （EA RTH BONDING POINT）被设置在基座的 正面和后面上方。 4. 使用 No.1 尺寸的十字螺丝刀和一字螺丝刀，拆下 CPU 箱 的以■表示的连接电缆。 5. 拆下螺栓，从多功能晶圆单元上拆下支架 和 CPU 箱。…
INS-NXTMWU-4.2S 12. 更换部件
多功能晶圆单元使用说明书 319
12.2 更换 CPU 箱
12.2.1 必要的物品
十字螺丝刀、一字螺丝刀、六角扳手一套、
内置电源控制用电阻 （电阻值：1MΩ 以上）的腕带、
交叉以太网电缆、NXT-2 软件 CD-ROM、
安装了辅助软件的电脑、固有值的备份数据
12.2.2 准备作业
1. 请准备在?? 4.5.5 备份固有值??中保存的最新的固有值备份数据。
2. 如果多功能晶圆单元的 PP 吸嘴被安装在了 PP 工作头上，请拆下吸嘴。
12.2.3 更换方法
警告
请务必切断机器的主电源，然后进行更换作业。
注意
插拔连接电缆时，请握住接插件，不要拉扯电缆。
连接接插件时，请确认接插件名称，不要出错。
在带静电的情况下持续作业，有可能损坏 CPU 箱内的电子元件。
12. 更换部件 INS-NXTMWU-4.2S
320 多功能晶圆单元使用说明书
1. 从模组上卸下多功能晶圆单元。
2. 拆下螺丝，拆下 CPU 箱的盖罩。
3. 请将防静电腕带戴在手腕处。腕带的连接口 （EARTH BONDING POINT）被设置在基座的
正面和后面上方。
4. 使用 No.1 尺寸的十字螺丝刀和一字螺丝刀，拆下 CPU 箱的以■表示的连接电缆。
5. 拆下螺栓，从多功能晶圆单元上拆下支架和 CPU 箱。
6. 拆下螺栓，从 CPU 箱上拆下支架。
7. 按照拆下时的相反步骤，将新的 CPU 箱安装到多功能晶圆单元上。
8. 在不安装 CPU 箱的盖罩的情况下将多功能晶圆单元安装到模组上。基座的主电源开关请
不要设置到 ON。
01NST-2020
01NST-2021S
HEAD
12V
MARK PART1
PANEL LINK
LAN
RS232CCUNET
BAT
5
6
7
8
1
2
RGB IN
USB
DIO
UART1-4
1394PO
I/O OUT IN
PART 2
TRIG OUT TRIG IN
᳝ᴵᔶⷕ䇏প఼˄䗝䌁ӊ˅ᯊ
᳝RFID㋏㒳˄䗝䌁ӊ˅ᯊ
01NST-2022
INS-NXTMWU-4.2S 12. 更换部件
多功能晶圆单元使用说明书 321
12.2.4 更换后的各种设定
在更换了 CPU 箱后，需要进行以下的作业。
a. 安装多功能晶圆单元用应用程序软件。
b. 重新登录固有值。
安装多功能晶圆单元用应用程序软件
1. 请拆除电脑与 NXT-2 基座间的以太网电缆，使用交叉以太网电缆连接电脑与多功能晶圆
单元的 CPU。
2. 将电脑的 IP 地址变更为 “169.254.0.200”。
3. 将 CPU 的钮子开关向上设置。然后接通 CPU 的电源，CPU 以 emergency mode 进行启动。
4. 将基座的主电源开关设置为 ON。
5. 将 NXT-2 软件 CD-ROM 插入 CD-ROM 驱动器内，从资源管理器中打开 CD-ROM。
备注 ) 请使用被安装在机器中的软件的相同版本的 CD-ROM。
6. 启动 [\NXT\Tool] 的 EmergencyInstaller.exe。
7. 点击 [...]，选择以下的 bin 文件。
??\NXT\FujiInstSoft\Fuji\System2\Program\System\MWU.bin
8. 点击 [Install]。安装完成后，显示信息。
9. 点击 [OK]，关闭信息。
10.将基座的主电源开关设置为 OFF。
11.将钮子开关向下返回。
12.拆除电脑与多功能晶圆单元的 CPU 间的交叉以太网电缆，使用原来的以太网电缆连接电
脑与 NXT-2。
13.将电脑的 IP 地址返回到原来的数值。
14.再次将基座的主电源开关设置为 ON，确认多功能晶圆单元进行启动。
注意
错误地选择 bin 文件，安装后，CPU 不会启动。
01SYS-0283S
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NXTST0005a