多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第174页
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S 160 多功能晶圆单元使用说明书 3. 请 按下 SELECT 按钮。 所选择的图 表文件被显示在 [Select W afer Map File Nmae] 栏内。 4. 请按下 OK 按钮。确定晶圆图表。 至此，完成晶圆图表的指定。之 后，多功能晶圆单元进行晶圆托架 的高度测定。 01NST -0666 01NST -1366E
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 159
从晶圆图表文件列表中选择时
1. 安装了晶圆托架后，按下 OK 按钮就会显示晶圆图表指定画面。
2. 显示晶圆图表文件列表。使用滚动按钮选择晶圆图表文件。滚动显示中的列表为被选择
的文件。
备注 )按下滚动按钮后，列表中的文件名就会滚动。存在滚动量不同的 2 种按钮，请区别使
用。
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01NST-0664
01NST-0665S
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
160 多功能晶圆单元使用说明书
3. 请按下 SELECT 按钮。所选择的图表文件被显示在 [Select Wafer Map File Nmae] 栏内。
4. 请按下 OK 按钮。确定晶圆图表。
至此，完成晶圆图表的指定。之后，多功能晶圆单元进行晶圆托架的高度测定。
01NST-0666
01NST-1366E
