多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第294页
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S 280 多功能晶圆单元使用说明书 8. 如果测定值超出规定值，请调整皮带张力 。松开张力滑轮的固定螺栓和锁定 螺母，然后 转动调整螺栓进行调整。 9. 请旋紧张力滑轮的固定螺栓和锁定螺母。 10.再次测定测定皮带张力 ，确认是否在规定值内。 11.安装背面盖罩。 12.将多功能晶圆单元安装到模组上。 （详细 内容参照 "9.2 安装方法 "。 ） 01NST -071…
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 279
〈托架往复臂）〉
1. 拆下多功能晶圆单元的侧面盖罩 （右侧和左侧）。（详细内容参照 "9.1 卸下方法 "。）
2. 请测定皮带张力。确认跨度最长的皮带的中央位置的测定值时是否在规定值内。
3. 如果测定值规定值，请调整皮带张力。松开张力滑轮的固定螺栓和锁定螺母或安装螺
钉，然后转动调整螺栓进行调整。
4. 请旋紧张力滑轮的固定螺栓和锁定螺母或安装螺钉。
5. 再次测定测定皮带张力，确认是否在规定值内。
6. 拆下多功能晶圆单元的背面盖罩。（详细内容参照 "12.1 拆下盖罩 "。）
7. 请测定 TY 轴皮带张力 （驱动部）。确认跨度最长的皮带的中央位置的测定值时是否在
规定值内。
皮带张力 规定值 (Hz)
TY 轴 （往复臂部） 47.7 ～ 51.7
TY 轴 （驱动部） 334.5 ～ 368.5
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10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
280 多功能晶圆单元使用说明书
8. 如果测定值超出规定值，请调整皮带张力。松开张力滑轮的固定螺栓和锁定螺母，然后
转动调整螺栓进行调整。
9. 请旋紧张力滑轮的固定螺栓和锁定螺母。
10.再次测定测定皮带张力，确认是否在规定值内。
11.安装背面盖罩。
12.将多功能晶圆单元安装到模组上。（详细内容参照 "9.2 安装方法 "。）
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INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 281
〈晶片往复臂〉
1. 拆下多功能晶圆单元右侧的侧面盖罩。（详细内容参照 "12.1 拆下盖罩 "。）
2. 请测定皮带张力。确认跨度最长的皮带的中央位置的测定值时是否在规定值内。
3. 如果测定值超出规定值，请调整皮带张力。拆下多功能晶圆单元的正面盖罩 （中央
部）。（详细内容参照 "12.1 拆下盖罩 "。）
4. 松开马达支架的固定螺栓和锁定螺母，然后转动调整螺栓进行调整。
5. 请旋紧张力滑轮的固定螺栓和锁定螺母。
6. 再次测定测定皮带张力，确认是否在规定值内。
7. 安装右侧盖罩。
皮带张力 规定值 (Hz)
SY 轴 （ 265.3 ～ 277.3