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INS-NXTMWU-4.2S 9. 多功能晶圆单元的卸下和安装 多功能晶圆单元使用说明书 241 9. 多功能晶圆单元的卸下和安装 注意 在内部搭载了晶圆或料盘的状 态下，请不要移动多功能晶圆单元 ，或者， 将多功能晶圆单元安装到模组 中或从模组中卸下。元件有可能发 生移位或 从料盘中跳出。 将多功能晶圆单元安装到模组 中或从模组中卸下时，请轻轻地进 行不要有 冲击。