多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第69页
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装 多功能晶圆单元使用说明书 55 6. 安装多功能晶圆单元用废料带滑槽。 7. 将多功能晶圆单元用的废料带箱座放入基 座内，安装废料带箱。 备注 )废料带箱部安装了传感器 。如果废料带箱 座没有完全安装在基座内 ，废料带处理单 元 就不会动作。 8. 安装模组前侧下方的盖罩。 9 . 安 装 模 组 侧 面 盖 罩 。 （ 详 细 内 容 请 参 照[ N X T I I系 统 手 册]的[部 …
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
54 多功能晶圆单元使用说明书
14.确认晶圆供应部 4 点的顶起调整治具的高度在公差值以内。公差值如下所示。
·直接供应位置的左右测定值之差必须在 0.3mm 以内。
·相对于直接供应位置的左右测定值的中间值，往复臂供应位置的左右测定值必须
在 ±0.25mm 以内
15.如果测定值在公差值以内，则调整完成。如果测定值超出了公差值，请解除调整部的锁
定，将多功能晶圆单元夹紧到模组上，从步骤 1 开始重新调整。
复原模组和多功能晶圆单元
1. 从模组上卸下多功能晶圆单元。（松开方法请参照 " 进行多功能晶圆单元的高度和倾斜
调整"的步骤5。）
2. 从多功能晶圆单元上拆下顶起调整治具和高度调整手柄。
3. 安装多功能晶圆单元的背面盖罩、正面盖罩 （下方）、侧面盖罩 （右侧下方、左侧下
方）。（详细内容请参照 "12.1 拆下盖罩 "。）
4. 从模组上拆下千分表、磁性平台和工作头夹紧治具。
5. 关闭模组的正面盖罩。
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INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 55
6. 安装多功能晶圆单元用废料带滑槽。
7. 将多功能晶圆单元用的废料带箱座放入基座内，安装废料带箱。
备注 )废料带箱部安装了传感器。如果废料带箱座没有完全安装在基座内，废料带处理单元
就不会动作。
8. 安装模组前侧下方的盖罩。
9. 安装模组侧面盖罩。（详细内容请参照[NXT II系统手册]的[部件的更换]。）
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4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
56 多功能晶圆单元使用说明书
4.5 吸取高度修正测定
在完成了 "4.4 调整多功能晶圆单元的高度和倾斜 " 的作业后，进行吸取高度修正测定。
4.5.1 准备物品
开始作业之前，请确认以下的物品已经全部准备好了。
备注 )MWU 调整工具由本公司和代理店管理着，请联络本公司或代理店。另外，Z0 高度治具
为选购件。是否购买，请联络本公司或代理店。
分类 名称 数量 备注
治具 顶起调整治具 2ADLWJ00120* 1 附属品
工作头夹紧治具 AA18T** 1 附属品
Z0 高度治具 PM2047* 1 选购件
也可以使用 PM3629* 的 Z0
高度治具。使用时，将千分
表靠住最高的部分。
测定器 千分表 1 分辨率 2um
测定范围 0.6mm
磁性平台 1 -
软件 MWU 调整工具 1 本公司和代理店管理
Equipment Check 1 NXT-2 软件工具
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