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INS-NXTMWU-4.2S 11. 更换损耗品 多功能晶圆单元使用说明书 309 9. 更换泵汽缸上的吸气阀和排气阀。 a. 拆下汽缸盖表面上的螺丝，拆下排气阀。 b. 在安装螺丝上涂敷少量的乐泰 24 2，安装新的排气阀和排气阀 压板。 c. 拆下汽缸盖背面上的螺丝，拆下吸气阀。 d. 在安装螺丝上涂敷少量的乐泰 24 2，安装新的吸气阀和平垫圈 。 注意 )安装时，平垫圈的外圈有圆弧的一面与吸取阀靠在一起。 10.更换垫圈。 a…
11. 更换损耗品 INS-NXTMWU-4.2S
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6. 请拆下连接在另一个汽缸盖上的空气管和螺丝 （4 个），拆下汽缸盖。
7. 请将汽缸盖内侧的空气过滤器和汽缸密封垫片更换成新品。
8. 拆下螺栓 （4 个），然后拆下泵汽缸。
INS-NXTMWU-4.2S 11. 更换损耗品
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9. 更换泵汽缸上的吸气阀和排气阀。
a. 拆下汽缸盖表面上的螺丝，拆下排气阀。
b. 在安装螺丝上涂敷少量的乐泰 242，安装新的排气阀和排气阀压板。
c. 拆下汽缸盖背面上的螺丝，拆下吸气阀。
d. 在安装螺丝上涂敷少量的乐泰 242，安装新的吸气阀和平垫圈。
注意 )安装时，平垫圈的外圈有圆弧的一面与吸取阀靠在一起。
10.更换垫圈。
a. 请拆下螺丝 （2 个），拆下垫圈压板。
11. 更换损耗品 INS-NXTMWU-4.2S
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b. 拆下垫圈，安装新的垫圈。
c. 在安装螺丝上涂敷少量的乐泰 242，安装垫圈压板。
11.请安装泵汽缸。
12.安装汽缸盖。
13.另一侧的泵汽缸也按照同样的方法进行新品更换。
14.连接 2 个汽缸盖间的空气管和真空泵的空气管。
15.安装正面盖罩 （下方）。