多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第274页
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S 260 多功能晶圆单元使用说明书 10.6.5 清扫 PP 相机的盖罩玻璃 1. 请打开背面盖罩左侧面的维修保养门。 2. 将清洁纸和棉插入盖罩与光源单元的间隙 ，擦去光源单元上面的盖罩玻璃的 污垢。 3. 关闭背面盖罩左侧面的维修保养门。
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 259
10.6.3 更换 PP 单元的真空过滤器
1. 请从模组中拆下多功能晶圆单元。（详细内容请参照 "9.1 卸下方法 "。）
2. 拆下多功能晶圆单元的背面盖罩。（参照 "12.1 拆下盖罩 "。）
3. 使用尖头镊子，将 PP 的单元的凸缘上的真空过滤器更换成新品。
4. 安装多功能晶圆单元的背面盖罩。
5. 将多功能晶圆单元安装到模组中。（详细内容请参照 "9.2 安装方法 "）
10.6.4 清扫 PP 单元的吸嘴吸取面
1. 请打开背面盖罩左侧面的维修保养门。
2. 清扫 PP 单元的凸缘的吸嘴吸取面。使用清洁纸轻轻擦去附着的污垢。
3. 关闭背面盖罩左侧面的维修保养门。
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
260 多功能晶圆单元使用说明书
10.6.5 清扫 PP 相机的盖罩玻璃
1. 请打开背面盖罩左侧面的维修保养门。
2. 将清洁纸和棉插入盖罩与光源单元的间隙，擦去光源单元上面的盖罩玻璃的污垢。
3. 关闭背面盖罩左侧面的维修保养门。
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 261
10.6.6 更换顶起单元的真空过滤器
1. 请按下多功能晶圆单元的紧急停止按钮，打开模组的侧面盖罩门。
2. 用手将顶起单元移动到便于作业的位置。
3. 使用一字螺丝刀，连同过滤器盒一起拆下过滤器，更换成新品。
4. 关闭模组的侧面盖罩门。