多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第234页
8. 手动模式指令 INS-NXTMWU-4.2S 220 多功能晶圆单元使用说明书 8.3 退避指令 因元件补充或清扫等原因， 退避料盘箱的指令。执行该指 令后，就会 显示料盘箱退避画面。 8.3.1 如何显示料盘箱退避画面 1. 在 START 等待状态下按下 MANUAL 按钮，显示手 动指令。 2. 请按下退避图标。 3. 显示料盘箱退避菜单。 备注 )选择 CANCEL 图标后，就会返回到菜单画面。 01NST -1375 0…
8. 手动模式指令 INS-NXTMWU-4.2S
220 多功能晶圆单元使用说明书
8.3 退避指令
因元件补充或清扫等原因，退避料盘箱的指令。执行该指令后，就会显示料盘箱退避画面。
8.3.1 如何显示料盘箱退避画面
1. 在 START 等待状态下按下 MANUAL 按钮，显示手动指令。
2. 请按下退避图标。
3. 显示料盘箱退避菜单。
备注 )选择 CANCEL 图标后，就会返回到菜单画面。
01NST-1375
01NST-1376S
CANCEL
INS-NXTMWU-4.2S 8. 手动模式指令
多功能晶圆单元使用说明书 221
8.3.2 料盘箱退避
执行该指令后，料盘箱就会移动到退避位置。
1. 请按下料盘箱退避指令。
2. 显示料盘箱退避 START 等待画面。请按下 START 按钮。
3. 料盘箱移动到退避位置。完成移动后，就会返回到料盘箱退避指令画面。
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