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INS-NXTMWU-4.2S 11. 更换损耗品 多功能晶圆单元使用说明书 305 4. 从远程控制 I/O 电路板上拔出熔丝 （F1、F3） ，更换新的熔丝。 注意 在更换熔丝之前，请务必切断电源 。请安装与拆下的熔丝相同容量的 熔 丝。
11. 更换损耗品 INS-NXTMWU-4.2S
304 多功能晶圆单元使用说明书
11.6 更换远程控制 I/O 电路板熔丝
11.6.1 必要工具
十字螺丝刀、六角扳手一套
11.6.2 更换方法
1. 请将主开关设置为 OFF。
2. 请拆下螺丝，然后拆下侧面盖罩 （右侧）。详细内容请参照 "12.1 拆下盖罩 "。
3. 存在 No.0 ～ No.4 的 5 块远程控制 I/O 电路板，各块电路板上的熔丝相同。请确认哪块
电路板上的熔丝被烧断。如果要确认 No.0 和 No.2 电路板时，请拆下螺丝，并且拆下
No.1 和 No.3 电路板。
·如果熔丝 F1 被烧断了，因为 LED1 和 LED3 会熄灯。
备注 )如果熔丝 F1 被烧断了，在启动机器时操作面板上显示错误，并且显示熔丝烧断的电路
板 No.。
·对于熔丝 F3，请目视确认哪块电路板的熔丝被烧断了。
01NST-0794c
INS-NXTMWU-4.2S 11. 更换损耗品
多功能晶圆单元使用说明书 305
4. 从远程控制 I/O 电路板上拔出熔丝 （F1、F3），更换新的熔丝。
注意
在更换熔丝之前，请务必切断电源。请安装与拆下的熔丝相同容量的熔
丝。
11. 更换损耗品 INS-NXTMWU-4.2S
306 多功能晶圆单元使用说明书
11.7 更换真空泵损耗部件
11.7.1 更换周期
机器每运转 6,000 小时
11.7.2 准备物品
部件名称 数量
更换部件 空气过滤器 2
汽缸密封垫片 2
吸排气阀 4
垫圈 2
名称 备注
工具 六角扳手 对边 5mm
十字螺丝刀 No.2
其他 工业用酒精 擦拭清扫用
回丝 擦拭清扫用
乐泰 242 螺丝固定用
防尘口罩 -
手套 -