多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第281页
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养 多功能晶圆单元使用说明书 267 6. 安装筒。使定位销对准槽部插入筒，用螺 母固定。 7. 安装顶起筒。转动控制杆进行固定。 8. 关闭模组的侧面盖罩门。 ᅮԡ䫔 㶎↡ ῑ䚼 ㄦ 1676 01NST -1062Sa 乊䍋ㄦ ࠊᴚ
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
266 多功能晶圆单元使用说明书
10.8 每 6 个月 （4000 小时）的作业
10.8.1 更换大中尺寸晶片用顶起筒的凸缘
1. 请按下多功能晶片单元的紧急停止按钮，打开模组的侧面盖罩门。
2. 用手将顶起单元移动到便于作业的位置。
3. 从顶起单元中拆下该大中尺寸晶片用顶起筒。
4. 松开螺母，拆下筒。
5. 将筒前端部的凸缘更换成新品。
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INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 267
6. 安装筒。使定位销对准槽部插入筒，用螺母固定。
7. 安装顶起筒。转动控制杆进行固定。
8. 关闭模组的侧面盖罩门。
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