多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第70页
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S 56 多功能晶圆单元使用说明书 4.5 吸取高度修正测定 在完成了 "4.4 调整多功能晶圆单元的高 度和倾斜 " 的作业后，进行吸取高度修正测定。 4.5.1 准备物品 开始作业之前，请确认以下的物 品已经全部准备好了。 备注 )MWU 调整工具由本公司和代理店管理着，请联络本公司或代理店。另外，Z0 高度治具 为选购件。是否购买，请联络本公司或代理店。 分类 名称 数量…
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 55
6. 安装多功能晶圆单元用废料带滑槽。
7. 将多功能晶圆单元用的废料带箱座放入基座内，安装废料带箱。
备注 )废料带箱部安装了传感器。如果废料带箱座没有完全安装在基座内，废料带处理单元
就不会动作。
8. 安装模组前侧下方的盖罩。
9. 安装模组侧面盖罩。（详细内容请参照[NXT II系统手册]的[部件的更换]。）
01NST-2001
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
56 多功能晶圆单元使用说明书
4.5 吸取高度修正测定
在完成了 "4.4 调整多功能晶圆单元的高度和倾斜 " 的作业后，进行吸取高度修正测定。
4.5.1 准备物品
开始作业之前，请确认以下的物品已经全部准备好了。
备注 )MWU 调整工具由本公司和代理店管理着，请联络本公司或代理店。另外，Z0 高度治具
为选购件。是否购买，请联络本公司或代理店。
分类 名称 数量 备注
治具 顶起调整治具 2ADLWJ00120* 1 附属品
工作头夹紧治具 AA18T** 1 附属品
Z0 高度治具 PM2047* 1 选购件
也可以使用 PM3629* 的 Z0
高度治具。使用时，将千分
表靠住最高的部分。
测定器 千分表 1 分辨率 2um
测定范围 0.6mm
磁性平台 1 -
软件 MWU 调整工具 1 本公司和代理店管理
Equipment Check 1 NXT-2 软件工具
01NST-1907
01NST-1908
01NST-1909
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 57
4.5.2 NXT-2 的 XY 机械手使用时的注意事项
作业中，存在使用 NXT-2 的 XY 机械手的作业。此时，请注意以下的事项。
4.5.3 测定前的确认事项
在进行吸取高度修正测定之前，请确认以下事项。
a. 多功能晶圆单元的高度和倾斜的调整已经完成。
b. NXT-2 和多功能晶圆单元的的盖罩已经全部被安装了。
c. 在作业电脑上安装了 NXT-2 软件工具 [Equipment Check] （详细内容请参照 [NXT II
系统手册 ] 的 [NXT-2 软件工具 ]。）
d. 请确认手头有固有值备份数据。使用备份数据内的 [InspectionTool.ini] 文件。该
数据附属于多功能晶圆单元。
警告
模组运转后，请不要马上直接接触模组的线性马达轴和线圈。有可能烫
伤。
模组的线性马达会发生强磁场。使用心脏起搏器的人员，请不要靠近的 Y
轴的线性马达附近 （请离开 400 mm 以上）。受磁场影响有可能造成心脏起
搏器误动作。
注意
手动移动 XY 机械手时，请握住框架部。请握住贴装工作头本体或手柄等，
不要对工作头施加力。
请不要压住 X 轴盖罩。盖罩有可能变形。
在模组的线性马达附近 （55 mm 以内）进行作业时，请不要使用通常的工
具。请使用非磁性工具。
请不要使磁卡、手表、精密仪器等靠近模组的线性马达附近 （55 mm 以
内）。有可能受磁场影响出现故障。
更换工作头和维修保养作业时，物品不要撞击线性标尺，使其损伤。如果
线性标尺损伤，就会发生错误，有可能不能生产。此时，需要更换线性标
尺。