多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第282页

10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S 268 多功能晶圆单元使用说明书 10.9 每年 （8000 小时）的作业 10.9.1 PP 相机的半透半反光镜的清扫 1. 从模组中卸下多功能晶圆单元。 （详细内容参照 "9.1 卸下方法 "。 ） 2. 拆下多功能晶圆单元的背面盖罩。 （详细内容参照 "12.1 拆下盖罩 "。 ） 3. 使用清洁纸 （A4565T）或市售 的眼镜擦纸和棉棒，…

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INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 267
6. 安装筒。使定位销对准槽部插入筒，用螺母固定。
7. 安装顶起筒。转动控制杆进行固定。
8. 关闭模组的侧面盖罩门。
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10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
268 多功能晶圆单元使用说明书
10.9 每年 （8000 小时）的作业
10.9.1 PP 相机的半透半反光镜的清扫
1. 从模组中卸下多功能晶圆单元。（详细内容参照 "9.1 卸下方法 "。）
2. 拆下多功能晶圆单元的背面盖罩。（详细内容参照 "12.1 拆下盖罩 "。）
3. 使用清洁纸 （A4565T）或市售的眼镜擦纸和棉棒，擦去 PP 相机光源内的半透半反光面
的污垢。
4. 安装多功能晶圆单元的背面盖罩。
5. 将多功能晶圆单元安装到模组中。（详细内容参照 "9.2 安装方法 "。）
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10.9.2 更换防静电装置
1. 请将主电源开关设置为 OFF。
2. 拆下螺丝，拆下左侧面的维修保养盖罩。
3. 将六角扳手插入放电针单元的底面，转动放电针单元将其拆下。
4. 将六角扳手插入放电针单元的底面，与拆下放电针单元时相反方向转动扳手，安装放电
针单元。
备注 )以 0.3Nm 以下的旋紧力矩安装放电针单元。
5. 安装左侧面的维修保养盖罩。
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