多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第146页

6. 生产 I NS-NXTMWU-4.2S 132 多功能晶圆单元使用说明书 6.2 开始生产 请进行以下的操作。 1. 当多功能晶圆单元处于 START 等待状态的时候 ，请按下 START 按钮。 2. 开始校正。校正结束后，开始向模组供应 元件。 备注 ) 1.如果还没有完成生产的准备，校正后显示换线向导。有关换线，请参照 "6. 换线 "。 2.校正中如果发生了顶起销读取异常时， 就会显示顶起销的位置调整画…

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INS-NXTMWU-4.2S 6. 生产
多功能晶圆单元使用说明书 131
6.1.5 确认在晶片往复臂上安装了吸嘴
请确认在晶片往复臂上安装了全部的 4 个吸嘴。
6.1.6 确认在翻转单元上安装了吸嘴
请确认在翻转单元上安装了全部的 4 个吸嘴。
注意
在没有安装吸嘴的状态下开始运转，气源回路内就会混入异物，成为多功
能晶圆单元发生故障的原因。
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注意
在没有安装吸嘴的状态下开始运转，气源回路内就会混入异物，成为多功
能晶圆单元发生故障的原因。
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6. 生产
I
NS-NXTMWU-4.2S
132 多功能晶圆单元使用说明书
6.2 开始生产
请进行以下的操作。
1. 当多功能晶圆单元处于 START 等待状态的时候，请按下 START 按钮。
2. 开始校正。校正结束后，开始向模组供应元件。
备注 )
1.如果还没有完成生产的准备，校正后显示换线向导。有关换线，请参照 "6. 换线 "。
2.校正中如果发生了顶起销读取异常时，就会显示顶起销的位置调整画面。请参照 "7.9
顶起销的位置调整 "，进行顶起销的位置调整。
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多功能晶圆单元使用说明书 133
6.3 关于生产中的画面
此处，说明生产中 （裸晶片供应中）所显示的画面和画面操作。
6.3.1 画面的构成
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