多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第306页
10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S 292 多功能晶圆单元使用说明书 MEMO:
INS-NXTMWU-4.2S 10. 预防保养
多功能晶圆单元使用说明书 291
10.11.5 清扫防静电装置
操作面板下方的显示灯（橙色）亮灯时，或者显示灯（绿色）熄灯时，请清扫放电针单元。
备注 )从维修保养盖罩的窗口也能够确认防静电装置的显示灯。防静电装置的显示灯从上开
始依次是电源显示 （绿色）、放电显示 （绿色）、检查显示 （橙色）和错误显示 （红
色）。检查显示灯或者错误显示灯亮灯时，请清扫放电针单元。
1. 请将主电源开关设置为 OFF。
2. 拆下螺丝，卸下左侧面的维修保养盖罩。
3. 将六角扳手插入放电针单元的底面，转动放电针单元将其拆下。
4. 用浸有酒精的棉棒等，擦去放电针单元的放电针及其周围的污垢。
5. 将六角扳手插入放电针单元的底面，与拆下放电针单元时相反方向转动扳手，安装放电
针单元。
备注 )以 0.3Nm 以下的旋紧力矩安装放电针单元。
6. 安装左侧面的维修保养盖罩。
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10. 预防保养 INS-NXTMWU-4.2S
292 多功能晶圆单元使用说明书
MEMO:
INS-NXTMWU-4.2S 11. 更换损耗品
多功能晶圆单元使用说明书 293
11. 更换损耗品
11.1 关于损耗品
损耗品就是随着机器的运转而损耗的部件。即使在机器的保修期内，也作为有偿提供。
11.2 更换伺服放大器电池
11.2.1 更换周期
电池警报时
11.2.2 必要工具
十字螺丝刀、六角扳手一套
11.2.3 更换方法
注意
请不要使用指定外的电池。
更换电池时，请不要切断机器的电源。
在没有接通电源的状态下拆除电池，之后需要重新设定马达的原点。
用完的电池请遵照本地区的规定进行处置。
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