多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第230页

7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S 216 多功能晶圆单元使用说明书 MEMO:

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INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线
多功能晶圆单元使用说明书 215
7.13 料站类型更换向导
模组中如果多功能晶圆单元没有被安装着，就会在模组侧的操作面板上显示料站类型更换
向导。
请在该模组中安装多功能晶圆单元。详细内容请参照 "9. 多功能晶圆单元的卸下和安装 "。
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
216 多功能晶圆单元使用说明书
MEMO:
INS-NXTMWU-4.2S 8. 手动模式指令
多功能晶圆单元使用说明书 217
8. 手动模式指令
手动模式指令是维修保养作业者在进行维修保养或其他的特别作业时使用的指令。
8.1 从菜单画面上选择指令项目
在 START 等待画面上按下 MANUAL 按钮，切换到手动模式画面。按下 CANCEL 按钮后，就会返
回到 START 等待画面。
8.1.1 指令菜单画面
备注 )背景为深灰色的菜单是不能选择的菜单。
执行指令的时候，请按下菜单图标。移动到各自的指令画面。
01NST-1368
MANUAL
CANCEL
01NST-1369S
CANCEL