多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第317页
INS-NXTMWU-4.2S 11. 更换损耗品 多功能晶圆单元使用说明书 303 11.5 更换托架电路板熔丝 11.5.1 必要工具 十字螺丝刀 11.5.2 更换方法 1. 请将主电源开关设置为 OFF。 2. 请拆下螺丝，然后拆下侧面盖罩 （右侧后方） 。详细内容请参照 "12.1 拆下盖罩 " 3. 请目视确认哪个熔丝被烧断。 4. 从托架电路板上拔出熔丝 （F3、F4） ，更换新的熔丝。 注意 在更换熔…
11. 更换损耗品 INS-NXTMWU-4.2S
302 多功能晶圆单元使用说明书
4. 从控制电路板上拔出熔丝 （M11F1 ～ 9），更换新的熔丝。
❨ϱ(M11F1, 2, 7)
ൟো㧦DM32
ൟো㧦DM10
❨ϱ(M11F3, 4, 5, 6, 8, 9)
01NST-0723Sb
ࠊ⬉䏃ᵓ
F1⚻ᮁ㧦PL1❘♃
F2⚻ᮁ㧦PL2❘♃
F8⚻ᮁ㧦PL8❘♃
F9⚻ᮁ㧦PL9❘♃
F1
F2
F3
F4F5
F6
F7
F8
F9
PL1
PL2
PL3
PL4
PL5
PL6
PL7
PL8
PL9
❨ϱ(M11F5)
ൟো㧦DM10（⬉䏃ᵓൟোFH1408BOF）
DM16（⬉䏃ᵓൟোFH1408COF）
⬉䏃ᵓൟো
INS-NXTMWU-4.2S 11. 更换损耗品
多功能晶圆单元使用说明书 303
11.5 更换托架电路板熔丝
11.5.1 必要工具
十字螺丝刀
11.5.2 更换方法
1. 请将主电源开关设置为 OFF。
2. 请拆下螺丝，然后拆下侧面盖罩 （右侧后方）。详细内容请参照 "12.1 拆下盖罩 "
3. 请目视确认哪个熔丝被烧断。
4. 从托架电路板上拔出熔丝 （F3、F4），更换新的熔丝。
注意
在更换熔丝之前，请务必切断电源。请安装与拆下的熔丝相同容量的熔
丝。
01NST-0724c
F3
PSE UL CSA FGMA
125V 5A(PBF)
01NST-0725Sb
F4
PSE UL CSA FGMA
125V 0.5A(PBF)
11. 更换损耗品 INS-NXTMWU-4.2S
304 多功能晶圆单元使用说明书
11.6 更换远程控制 I/O 电路板熔丝
11.6.1 必要工具
十字螺丝刀、六角扳手一套
11.6.2 更换方法
1. 请将主开关设置为 OFF。
2. 请拆下螺丝，然后拆下侧面盖罩 （右侧）。详细内容请参照 "12.1 拆下盖罩 "。
3. 存在 No.0 ～ No.4 的 5 块远程控制 I/O 电路板，各块电路板上的熔丝相同。请确认哪块
电路板上的熔丝被烧断。如果要确认 No.0 和 No.2 电路板时，请拆下螺丝，并且拆下
No.1 和 No.3 电路板。
·如果熔丝 F1 被烧断了，因为 LED1 和 LED3 会熄灯。
备注 )如果熔丝 F1 被烧断了，在启动机器时操作面板上显示错误，并且显示熔丝烧断的电路
板 No.。
·对于熔丝 F3，请目视确认哪块电路板的熔丝被烧断了。
01NST-0794c