多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第216页
7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S 202 多功能晶圆单元使用说明书 5. 松开螺母。拆下筒夹。 6. 将顶起销安装到筒夹中。 a. 将筒夹的定位销处于水平，并且安装到顶 起销安装治具上。 b. 将筒夹靠住治具，转动螺丝固定筒夹。 备注 )如果没有靠住治具转动螺丝，筒夹就会在翘起的状态下被固定。 01NST -0755S 乊䍋䫔ᅝ㺙⊏ ㄦ། ᅮԡ䫔 01NST -1061S ᅮ㶎ϱ ㋻ⶽ 0.26 Nm 㧔 খ㗗 㧕
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多功能晶圆单元使用说明书 201
2. 请打开侧面盖罩。
3. 转动控制杆解除锁定，从顶起单元中卸下相应的顶起筒。
4. 松开螺母，拆下筒。
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7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S
202 多功能晶圆单元使用说明书
5. 松开螺母。拆下筒夹。
6. 将顶起销安装到筒夹中。
a. 将筒夹的定位销处于水平，并且安装到顶起销安装治具上。
b. 将筒夹靠住治具，转动螺丝固定筒夹。
备注 )如果没有靠住治具转动螺丝，筒夹就会在翘起的状态下被固定。
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c. 筒夹中如果有不要的销时，请除去。松开筒夹的螺母，销的固定孔就会松动。
备注 )此处请使用专用的扳手。另外，请保管好所拆下的销，不要遗失。
d. 将顶起销插入相应的位置。
e. 请调整销的长度。
备注 )请转动调整螺丝，直到定位块碰到安装台为止。
f. 在该状态下，请重新轻轻地旋紧松动的螺母，预固定顶起销。
注意 )用力旋紧螺母，有可能损伤销的前端。
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