多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第142页
5. Job 的设定和编辑 INS-NXTMWU-4.2S 128 多功能晶圆单元使用说明书 MEMO:
INS-NXTMWU-4.2S 5. Job 的设定和编辑
多功能晶圆单元使用说明书 127
故障排除
请根据状况，进行有效的对策。
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5. Job 的设定和编辑 INS-NXTMWU-4.2S
128 多功能晶圆单元使用说明书
MEMO:
INS-NXTMWU-4.2S 6. 生产
多功能晶圆单元使用说明书 129
6. 生产
当完成必要元件的安装后，通过按下 START 按钮，多功能晶圆单元开始生产。
6.1 生产之前
在开始生产之前，进行符合 Job 的换线，变成能够运用多功能晶圆单元的状态。
6.1.1 安装晶圆托架
请将生产中使用的晶圆托架安装到料盘箱内。根据操作画面上所显示的晶圆安装向导进行
作业。详细内容请参照 "7.3 元件补充 （晶圆的安装）"。
另外，伴随着晶圆托架的安装，有关指定等的操作，请参照以下的章节进行。
a. "7.4 指定吸取开始点 （晶圆托架）"
b. "7.5 指定跳过晶片 "
c. "7.6 晶圆示教 "
6.1.2 安装吸嘴
请对照 Job，在吸嘴置放台内安装吸嘴。根据操作画面上所显示的吸嘴安装向导进行作业。
详细内容请参照 "7.12 安装吸嘴 "。
备注 )吸嘴的安装向导被显示在模组侧的操作画面上。