多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第223页
INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线 多功能晶圆单元使用说明书 209 4. 从要补充元件的料槽中拔出料盘托架。如 果没有料盘托架，则不需要该作业 。 5. 将料盘安装到料盘托架上。 6. 将料盘托架安装到对象料槽中。 注意 )请轻轻地安装，以免料盘受到冲击。 备注 )想要改变安装料槽的顺序时，请通过触摸屏的箭头键 （上下）变更料槽。 7. 需要指定吸取开始点时，在此处进行设定 。 8. 请按下画面上的 OK 按钮。 9. 如果有…
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208 多功能晶圆单元使用说明书
7.11.2 料盘元件的安装步骤
请确认料盘元件安装向导。
1. 请打开多功能晶圆单元的正面门。
2. 请确认要补充的料槽。需要补充的料槽的 LED 会亮灯。另外，对于在向导画面中所选择
的料槽，LED 会闪烁。
3. 请拿住捏手，抬起托架挡块。
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4. 从要补充元件的料槽中拔出料盘托架。如果没有料盘托架，则不需要该作业。
5. 将料盘安装到料盘托架上。
6. 将料盘托架安装到对象料槽中。
注意 )请轻轻地安装，以免料盘受到冲击。
备注 )想要改变安装料槽的顺序时，请通过触摸屏的箭头键 （上下）变更料槽。
7. 需要指定吸取开始点时，在此处进行设定。
8. 请按下画面上的 OK 按钮。
9. 如果有其他料槽的料盘安装向导，请重复 4. 项～ 8. 项。
10.当完成所有的补充后，SUPPLY COPLT 按钮就会闪烁。
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11.请拿住捏手，抬起托架挡块。
12.请关闭正面门，按下 SUPPLY COPLT 按钮。
备注 )请轻轻地关闭正面门，以免多功能晶圆单元受到冲击。
13.请按下 SUPPLY COPLT 按钮。
至此，完成料盘元件的补充。
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