多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第331页
INS-NXTMWU-4.2S 12. 更换部件 多功能晶圆单元使用说明书 317 侧面盖罩 （左侧后方） 1. 请拆下螺丝，然后拆下侧面盖罩 （左侧后方） 。 侧面盖罩 （左侧下方） 1. 请拆下正面盖罩 （下方） 。 （详细请参照 [ 正面盖罩 （上方，下方）]。 ） 2. 请拆下螺丝，然后拆下侧面盖罩 （左侧下方） 。 01NST -0737b
12. 更换部件 INS-NXTMWU-4.2S
316 多功能晶圆单元使用说明书
侧面盖罩 （右侧下方）
1. 请拆下正面盖罩 （下方）。（详细请参照 [ 正面盖罩 （下方）]。）
2. 请拆下螺丝，然后拆下侧面盖罩 （右侧下方）。
操作面板盖罩
1. 请拆下螺丝，然后拆下操作面板罩。
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INS-NXTMWU-4.2S 12. 更换部件
多功能晶圆单元使用说明书 317
侧面盖罩 （左侧后方）
1. 请拆下螺丝，然后拆下侧面盖罩 （左侧后方）。
侧面盖罩 （左侧下方）
1. 请拆下正面盖罩 （下方）。（详细请参照 [ 正面盖罩 （上方，下方）]。）
2. 请拆下螺丝，然后拆下侧面盖罩 （左侧下方）。
01NST-0737b
12. 更换部件 INS-NXTMWU-4.2S
318 多功能晶圆单元使用说明书
侧面盖罩 （左侧）
1. 请拆下侧面盖罩 （左侧后方）。（详细请参照 [ 侧面盖罩 （左侧后方）]。）
2. 请拆下操作面板盖罩。（详细请参照 [ 操作面板盖罩。）
3. 请松开操作面板固定螺栓 （2 根）。
4. 请拆下正面盖罩 （下方）。（详细请参照 [ 正面盖罩 （中央、下方）]。）
5. 请拆下螺丝，然后拆下侧面盖罩 （左侧下方）。
6. 请打开正面门，拆下螺丝然后拆下侧面盖罩 （左侧）。