多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第220页

7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S 206 多功能晶圆单元使用说明书 10.如果别的筒需要安装顶起销，请进行同样的作业。 11.请按下 OK 按钮，关闭侧面盖罩。注意请在安装了筒后，开始生产。如果筒被拆除，则成为多功能晶圆单元的误动作和故障的原因。另外，在没有筒的料槽上请安装盖罩。

INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线

多功能晶圆单元使用说明书 205

8. 安装筒。使定位销对准槽口然后插入筒，用螺母进行固定。

9. 安装顶起筒。转动控制杆进行固定。

备注 )

1.请通过控制杆确认顶起筒是否被牢牢地固定了。

2.在没有筒的料槽上请安装盖罩。与筒一样，转动控制杆进行固定。

注意

请正确地安装，避免筒翘起，旋紧螺母。筒翘起，则成为吸取不良或故障

的原因。

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盖罩

7. 换线 INS-NXTMWU-4.2S

206 多功能晶圆单元使用说明书

10.如果别的筒需要安装顶起销，请进行同样的作业。

11.请按下 OK 按钮，关闭侧面盖罩。

注意

请在安装了筒后，开始生产。如果筒被拆除，则成为多功能晶圆单元的误

动作和故障的原因。另外，在没有筒的料槽上请安装盖罩。

INS-NXTMWU-4.2S 7. 换线

多功能晶圆单元使用说明书 207

7.11 元件补充（料盘元件的安装）

需要安装料盘元件时，在校正后显示料盘元件的安装向导。请根据向导在多功能晶圆单元中

安装料盘元件。

7.11.1 料盘元件安装向导画面

01NST-0675S