多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第122页
5. Job 的设定和编辑 INS-NXTMWU-4.2S 108 多功能晶圆单元使用说明书 3. 请 按下 START 按钮。 4. 指定第 1 点的测定位置。 a. 按下滚动按钮，使十字线 （相机中心）对准晶片的轮 廓。 b. 按 下 NEXT 按 钮。 5. 请指定第 2 点的测定位置。 NEXT NEXT BACK CANCEL
INS-NXTMWU-4.2S 5. Job 的设定和编辑
多功能晶圆单元使用说明书 107
3. 显示设定主画面。
测定切割宽度
1. 在设定主画面上，请按下切割宽度测定按钮。
2. 显示切割宽度测定画面。请决定进行测定的方向。
a. 按下 X Cut Width 按钮后，就会测定 X 方向的切割宽度。
b. 按下 Y Cut Width 按钮后，就会测定 Y 方向的切割宽度。
备注 )初始设定为 2 个都被选择的状态。
01NST-1631
01NST-1632
5. Job 的设定和编辑 INS-NXTMWU-4.2S
108 多功能晶圆单元使用说明书
3. 请按下 START 按钮。
4. 指定第 1 点的测定位置。
a. 按下滚动按钮，使十字线 （相机中心）对准晶片的轮廓。
b. 按下 NEXT 按钮。
5. 请指定第 2 点的测定位置。
NEXT
NEXTBACKCANCEL
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多功能晶圆单元使用说明书 109
a. 按下滚动按钮，使十字线 （相机中心）对准晶片的轮廓。
b. 按下 NEXT 按钮。
备注 )如果离开第 1 点的距离超过 1.0 mm，不能够按下 NEXT 按钮。按下 CANCEL 按钮后，就
会返回到 1. 项的画面。
6. 以毫米单位显示测定值。请确认。
a. 之后，如果要进行微调整，请按下 X Cut Width/Y Cut Width 按钮。
b. 确定测定值时，请按下 COMPLETE 按钮。数据被更新，并返回到 2. 项的画面。
7. 按下 X Cut Width 按钮或 Y Cut Width 按钮后，就会显示数字键盘。请在数字键盘上输
入宽度，按下 Enter 按钮。
备注 )所输入的数值如果是无效，在数字键盘输入栏内显示 [0]。
COMPLETECANCEL