多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第67页
INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装 多功能晶圆单元使用说明书 53 d. 拉出多功能晶圆单元，直到多功能晶圆单 元的料站托架部的端面与模组端面在 同一 位置。 （请参照步骤 5。 ） 注意 )如果多功能晶圆单元的滚轮部脱离了料站基座，请从 " 将多功能晶圆单元夹紧到模组 上。" 开始重新调整。 e. 紧固各脚轮内侧的固定螺栓 （各 2 个） 。 f. 夹紧多功能晶圆单元。 （参照步骤 5。 ） g. 用手确认…
4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
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7. 固定各调整部。
备注 )紧固固定螺母时，一边确认顶起调整治具的高度和水平仪的水平度，一边左右平衡慢
慢地紧固。
a. 使用 36mm 宽度扳手，紧固前侧脚轮的固定螺母。使用调整用扳手 （S3019F）固定至
调整螺栓不会转动为止，同时使用固定用扳手 （2MDLWJ0129**）紧固固定螺母。
b. 紧固中间脚轮的固定螺栓。然后，将固定调整螺栓使之不转动，同时紧固固定螺母。
c. 右方向转动左右 2 个锁定杆，进行锁定。
8. 在晶圆供应部 4 点，确认顶起调整治具的高度。另外，确认塔基座部的水平仪的水平
度。如果这些数值超出了公差值，请松开各调整部的固定螺母，重新紧固。
备注 )顶起调整治具高度的公差值请参照步骤 2。另外，塔基座水平仪的公差值为 ±0.1mm/m
以内。
9. 固定多功能晶圆单元下部中央的紧固环 （2 处）。
a. 一边向下压住紧固环，一边均匀地预紧固 2 个固定螺栓。
b. 紧固 2 个固定螺栓，并且使得紧固环的 2 侧间隙平均。
10.固定后侧脚轮 （2 处）。固定螺栓时，请使用 5mm 宽度六角扳手 （标准、短型）。
备注 )从多功能晶圆单元与模组及基座的间隙，或者基座与地面的间隙将手伸入进行作业。
a. 在轮子的下面插入测隙规 （厚度 0.5mm）。
b. 预紧固各脚轮的固定螺栓 （各 4 个）。
c. 紧固各脚轮外侧的固定螺栓 （各 2 个），拔出测隙规。
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INS-NXTMWU-4.2S 4. 安装
多功能晶圆单元使用说明书 53
d. 拉出多功能晶圆单元，直到多功能晶圆单元的料站托架部的端面与模组端面在同一
位置。（请参照步骤 5。）
注意 )如果多功能晶圆单元的滚轮部脱离了料站基座，请从 " 将多功能晶圆单元夹紧到模组
上。" 开始重新调整。
e. 紧固各脚轮内侧的固定螺栓 （各 2 个）。
f. 夹紧多功能晶圆单元。（参照步骤 5。）
g. 用手确认轮子转动。不转动时，请再次调整。
11.确认前侧脚轮和中间脚轮全部着地。
12.拆下塔基座部的水平仪。
13.从模组上卸下多功能晶圆单元，确认再次安装后的倾斜测定值的正确性。
a. 松开多功能晶圆单元，从模组上完全拉出多功能晶圆单元。（松开方法请参照步骤
5。）
b. 注意前侧脚轮笔直向前，同时将多功能晶圆单元慢慢地插入模组内。
c. 夹紧多功能晶圆单元。（请参照步骤 5。）
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4. 安装 INS-NXTMWU-4.2S
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14.确认晶圆供应部 4 点的顶起调整治具的高度在公差值以内。公差值如下所示。
·直接供应位置的左右测定值之差必须在 0.3mm 以内。
·相对于直接供应位置的左右测定值的中间值，往复臂供应位置的左右测定值必须
在 ±0.25mm 以内
15.如果测定值在公差值以内，则调整完成。如果测定值超出了公差值，请解除调整部的锁
定，将多功能晶圆单元夹紧到模组上，从步骤 1 开始重新调整。
复原模组和多功能晶圆单元
1. 从模组上卸下多功能晶圆单元。（松开方法请参照 " 进行多功能晶圆单元的高度和倾斜
调整"的步骤5。）
2. 从多功能晶圆单元上拆下顶起调整治具和高度调整手柄。
3. 安装多功能晶圆单元的背面盖罩、正面盖罩 （下方）、侧面盖罩 （右侧下方、左侧下
方）。（详细内容请参照 "12.1 拆下盖罩 "。）
4. 从模组上拆下千分表、磁性平台和工作头夹紧治具。
5. 关闭模组的正面盖罩。
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