多功能晶圆单元使用说明书.pdf - 第325页
INS-NXTMWU-4.2S 12. 更换部件 多功能晶圆单元使用说明书 311 12. 更换部件 12.1 拆下盖罩 12.1.1 盖罩构成部件 1. 正面门 7. 侧面盖 罩 （右侧下 方） 2. 背面盖罩 8 . 操作面板盖罩 3. 正面盖罩 （下方） 9. 侧面盖罩 （左侧后方） 4. 正面盖罩 （中央） 10. 侧面盖罩 （左侧下方） 5. 侧面盖罩 （右侧后方） 11. 侧面盖罩 （左侧） 6. 侧面盖罩 （右侧） 6 4…
11. 更换损耗品 INS-NXTMWU-4.2S
310 多功能晶圆单元使用说明书
b. 拆下垫圈，安装新的垫圈。
c. 在安装螺丝上涂敷少量的乐泰 242，安装垫圈压板。
11.请安装泵汽缸。
12.安装汽缸盖。
13.另一侧的泵汽缸也按照同样的方法进行新品更换。
14.连接 2 个汽缸盖间的空气管和真空泵的空气管。
15.安装正面盖罩 （下方）。
INS-NXTMWU-4.2S 12. 更换部件
多功能晶圆单元使用说明书 311
12. 更换部件
12.1 拆下盖罩
12.1.1 盖罩构成部件
1. 正面门 7. 侧面盖罩 （右侧下方）
2. 背面盖罩 8. 操作面板盖罩
3. 正面盖罩 （下方） 9. 侧面盖罩 （左侧后方）
4. 正面盖罩 （中央） 10. 侧面盖罩 （左侧下方）
5. 侧面盖罩 （右侧后方） 11. 侧面盖罩 （左侧）
6. 侧面盖罩 （右侧）
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12. 更换部件 INS-NXTMWU-4.2S
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12.1.2 必要工具
十字螺丝刀、六角扳手一套
12.1.3 拆下方法
背面盖罩
1. 请打开背面盖罩左右的维修保养门。
备注 )如果是没有右侧维修保养门的背面盖罩，只要打开左侧维修保养门。
2. 从左侧维修保养门内的防静电装置的嘴上拔下空气管。
警告
拆下和安装多晶圆单元盖罩时，请务必将多晶圆单元从机器上拆下然后进
行。
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